Gebraucht NOVELLUS Inova #9390623 zu verkaufen

NOVELLUS Inova Reaktor ist die neueste fortschrittliche Reaktorplattform, die die Abscheidung von ultrafeinkörnigen Filmen ermöglicht. Es verfügt über eine einzigartige, integrierte Prozesssteuerung, die mit NOVELLUS ALETA-Software betrieben wird und eine präzise Kontrolle über den gesamten Abscheideprozess ermöglicht. Dieses hochmoderne System ermöglicht es dem Anwender, Folienparameter einschließlich Abscheiderate, Flächengleichförmigkeit und Filmspannung genau zu definieren, um die Leistung des Substrats zu optimieren. Inova-Reaktor verwendet einen Kaltkathodenbrenner, um ein reaktives Ionenplasma zusammen mit einer Hochfrequenz-Hochfrequenzquelle zu erzeugen, um ein gleichmäßiges ionisiertes Gas zu liefern, und eine fortschrittliche Hochleistungs-Elektronenaufprallquelle, um einen freien Strom von Ionen zu erzeugen. Der integrierte Magnethalter ermöglicht es Anwendern, im Vergleich zu elektrostatischen Prozessen allein konsistentere und wiederholbare Prozesse zu erzeugen. Die integrierte Aktivgasfördereinheit ist in der Lage, den Durchfluss und die Zusammensetzung des Gases genau zu steuern, was eine verbesserte Filmgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. NOVELLUS Inova Reaktor verfügt auch über ein einzigartiges Druckregelmodul, das eine erhöhte Temperaturstabilität und Gleichmäßigkeit bietet, was zu einer verbesserten Folienqualität führt. Neben den erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen verfügt der Inova-Reaktor auch über mehrere innovative Sicherheitsprotokolle. Mit dem integrierten Anti-Explosive Sensor werden Anwender vor explosionsgefährdeten Atmosphären in der Kammer geschützt. Eine automatische Abschaltmaschine verhindert Hochdruckfunken, die zu einer möglichen Beschädigung der Kammer führen können. Verbesserte Kammerschutzfunktionen umfassen ein verbessertes Wärmeflussmanagement und eine Leistungsregelung, die eine höhere thermische Stabilität und Kühlung bietet. NOVELLUS Inova Reaktor ist eine fortschrittliche Plattform entwickelt, um die Anforderungen der anspruchsvollsten Abscheidungsprozesse zu erfüllen. Durch fortschrittliche Prozesskontrolle, verbesserte Sicherheitsprotokolle und optimale thermische Stabilität ermöglicht Inova Reaktor Anwendern überlegene Ergebnisse im Vergleich zu früheren Reaktorplattformen zu erzielen. Mit dem NOVELLUS Inova Reaktor können Anwender ihre gewünschten Ergebnisse in kürzeren Prozesszeiten, höheren Durchsatzraten und verbesserter Folienqualität erzielen.