Gebraucht NOVELLUS Inova #9390633 zu verkaufen

NOVELLUS Inova ist ein CVD-Reaktor, der hauptsächlich in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Es bietet überlegene Prozessgleichförmigkeit, ausgezeichnete thermische Stabilität und hohe Durchsatzraten in kleinen Geometrien. Es wurde speziell entwickelt, um die Verarbeitung von immer komplexer werdenden integrierten Schaltungen zu ermöglichen. Inova-Reaktorstrahl besteht aus einer Wafer-Montageplatte, einem HF-Brenner, einer Brennerantenne und einem Gasstromkrümmer. Die Wafer-Montageplatte hilft bei der Montage des Wafers an der Reaktorkammer und hilft bei der Versorgung der elektrischen Stromanschlüsse und der notwendigen Gase. Der HF-Brenner erwärmt den Wafer, erzeugt ein Plasma für den Abscheidungsprozess und injiziert die Reaktantgase aus dem Gasstromkrümmer in die Kammer. Die Brennerantenne schießt die hochfrequenten Radiowellen an, um ein Plasmafeld für den Abscheidungsprozess zu initiieren und aufrechtzuerhalten. Der Gasstromkrümmer sammelt die Reaktionsgase aus der Quelle und leitet sie in die Reaktionskammer ab. Das einzigartige Design von NOVELLUS Inova ermöglicht hohe Abscheideraten und eine hervorragende Prozessgleichförmigkeit. Die hohen Abscheideraten und die verbesserte Gleichmäßigkeit führen einfach dazu, dass hochwertige Geräte mit weniger Prozessschritten und einer höheren Produktivität hergestellt werden können. Mit zwei großen Durchbruchformen der Abscheidung - Plasmadichtesteuerung und Plasmapulsfrequenzmodulation - ist Inova in der Lage, hochwertigere Filme als herkömmliche Methoden und bei höheren Prozesstemperaturen abzuscheiden. Es integrierte auch High-End-Elektronik, einschließlich verteilter Prozesssteuerungstechnologie, mit der Wafer schneller und genauer bearbeitet werden können. Darüber hinaus ermöglicht sein Regler eine Echtzeit-Kalibrierung und Steuerung des Abscheideprozesses, wobei weiterhin sichergestellt ist, dass alle von dem CVD hergestellten Schichten exakt geformt werden und der Prozess konsistent bleibt. NOVELLUS Inova Reaktorsystem hat eine Reihe von Vorteilen, wie verbesserte Qualität der Produkte und reduzierte Zykluszeiten, so dass es eine attraktive Lösung für Gerätehersteller. Inova ist ein effizientes und zuverlässiges Verarbeitungssystem und hat dazu beigetragen, den Weg für die Halbleiterindustrie von morgen zu ebnen.