Gebraucht NOVELLUS Inova #9399582 zu verkaufen

NOVELLUS Inova ist ein Reaktor zum Abscheiden und Ätzen von Halbleitermaterialien. Es basiert auf der induktiv gekoppelten Plasma (ICP) -Technologie und nutzt Hochfrequenzleistung für die Plasmaerzeugung. Dieser Reaktor bietet eine hervorragende Prozessgleichmäßigkeit für verschiedene Anwendungen, einschließlich Ätz-, Descum- und Barrieremetallverfahren. Inova nutzt einzigartige Hardware- und Softwarefunktionen, um eine konsistente Prozessgleichmäßigkeit bei hoher Variabilität zu gewährleisten. NOVELLUS Inovas Hardware beinhaltet einen Hochleistungs-ICP-gesteuerten Induktor mit zylindrischer Form, der Hochfrequenzbögen erzeugen kann und gleichzeitig Hochspannung zur Erzeugung eines Plasmas verwendet. Inova verwendet auch einen linearen HF-Stromgenerator mit Schwerpunkt auf der Kontrolle der Plasmadichte und bietet Gleichmäßigkeit bei Ätzrücklaufprozessen. Darüber hinaus enthält NOVELLUS Inova eine „Plasmatrommel“, eine innovative Vorrichtung aus Graphitmaterial mit eingebetteten Elektroden, die über die gesamte Oberfläche des zu bearbeitenden Substrats einheitliches Plasma erzeugen. Dies hilft, die Ungleichmäßigkeit auf Quellebene zu minimieren und Ladevorgänge zu verhindern. Darüber hinaus ermöglicht die Plasmatrommel einen optimierten Abstand zwischen dem Plasmagenerator und der Scheinelektrode, was eine hohe Ionenenergie gewährleistet und bessere Prozessergebnisse liefert. In Bezug auf Software nutzt Inova mehrere Funktionen für weitere verbesserte Einheitlichkeit. Diese Merkmale dienen der Optimierung der Prozesssteuerung durch Überwachung der Substratoberfläche und Einstellung der Plasmaenergieabgabe, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus nutzt NOVELLUS Inova auch die Sensortechnologien Endura und Kinetic Sputter Index, um die lokalen Ätzparameter genau zu messen. Durch eine Kombination aus Echtzeit- und Offline-Prozesssteuerung ist Inova in der Lage, die Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Submikronen in allen Anwendungen zu erreichen. Abschließend ist NOVELLUS Inova ein leistungsstarker Reaktor auf Basis der ICP-Technologie, der eine hervorragende Prozessgleichförmigkeit für verschiedene Anwendungen bietet. Mit seinen einzigartigen Hardware- und Softwarefunktionen bietet Inova beispiellose Präzision, Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Variabilität für Ätzrücken-, Abstiegs- und Barriere-Metallprozesse.