Gebraucht NOVELLUS / LAM Sabre Next 200 #293590631 zu verkaufen

NOVELLUS/LAM Sabre Next 200 ist ein plasmaverbesserter Niederdruck-Chemikaliendampfreaktor (PE-LPCVD), der für die Herstellung von integrierten Schaltkreisen (IC) optimiert ist. Es wurde entwickelt, um Prozessdurchsätze von bis zu 200 Wafern/Stunde bei einer Belastbarkeit von 200 Wafern zu ermöglichen. Es verfügt über eine mehrzonige Niederdruckätzkammer zum kontrollierten Ätzen von Polysilizium und anderen Materialien mit hohen dielektrischen konstanten Schichten. LAM Sabre Next 200 nutzt eine 4-Zoll-Wafergröße und basiert auf der Ultima-Plattform mit verbesserten DC-Stromversorgungen und verbesserter Kammer-Matching-Technologie. Die Gasförder- und Steuergeräte wurden entwickelt, um eine effektive Abscheidung von hochwertigen Materialien zu ermöglichen. Die Prozesskammer ist mit einer Drehscheiben- und Ultraschalltechnologie sowie einem Präzisions-Lasersystem ausgestattet, um ein gleichmäßiges, hochwertiges Waferätzen zu ermöglichen. NOVELLUS Sabre Next 200 bietet zudem eine hohe Höhenkontrollgenauigkeit mit einer 12-Bit-Encodereinheit, die eine Auflösung von 0,2 Mikrometern auf Waferebene ermöglicht. Es verfügt über eine optionale Kühlplatte, um die Entwicklung temperaturkritischer Materialien zu ermöglichen. Darüber hinaus kann der Reaktor mit thermoplastischen oder keramischen Heizstufen mit einem Temperaturbereich von bis zu 600 ° C ausgebildet sein. Sabre Next 200 verfügt über zwei verschiedene Ätzprozesse, nämlich PE-LPCVD und Glühentladungsoxidation. Die Plasma Enhanced Version verwendet Sauerstoff, Stickstoff und/oder Silan für kontrollierte Ätzrate. Das Glühentladungsoxidationsverfahren ermöglicht höhere dotierte Polysiliziumabscheidungsraten und eine optimierte Dickenkontrolle. NOVELLUS/LAM Sabre Next 200 ist auch mit einer patentierten, in situ Metallabhebemaschine ausgestattet, die eine bessere Prozesssteuerung ermöglicht. Das erweiterte Steuerungstool des Sabre Insight 200 ermöglicht es dem Bediener, die Prozessparameter in Echtzeit zu überwachen. Dieses erweiterte HMI-Asset ist in eine umfangreiche Rezeptbibliothek integriert und kann an zukünftige Technologien angepasst werden. Darüber hinaus ist der Reaktor mit einer offenen Architektur ausgelegt, so dass er sich problemlos in die bestehenden Produktionsmanagement- und Designautomationssysteme integrieren lässt. LAM Sabre Next 200 ist ein innovativer, fortschrittlicher Reaktor, der perfekt für die Hochvolumen-IC-Produktion geeignet ist. Es wurde entwickelt, um einen hohen Prozessdurchsatz mit einer hochwertigen dielektrischen Ätzung für prozessabhängige Materialien zu ermöglichen. NOVELLUS Sabre Next 200 bietet ein fortschrittliches und flexibles Steuerungsmodell, das eine einfache Integration in bestehende Anlagensteuerungssysteme ermöglicht und eine große Chance bietet, die Produktionseffizienz zu steigern.