Gebraucht NOVELLUS PVD Systems #293669939 zu verkaufen

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Hersteller
NOVELLUS
Modell
PVD Systems
ID: 293669939
Wafergröße: 12"
12".
NOVELLUS PVD Systems, auch bekannt als physikalische Bedampfungssysteme, sind wesentliche Werkzeuge für eine Vielzahl von Branchen, von der Elektronik bis zur Automobilindustrie. PVD-Systeme werden in einer Vielzahl von Verfahren wie Beschichten, Metallisieren und Galvanisieren eingesetzt. Bei dem Verfahren werden verdampfte Metallbeschichtungen auf die Oberfläche eines Werkstücks aufgebracht. Während verschiedene Methoden verwendet werden, um das verdampfte Material auf die Oberfläche einzuführen, ist das häufigste der thermisch verdampfte Prozess. NOVELLUS PVD-Systeme sind in erster Linie entwickelt, um überlegene Folieneinheitlichkeit und Prozesswiederholbarkeit zu bieten. Dies wird durch ihre fortschrittliche computergesteuerte Anlage und Robotik erreicht. Das System besteht aus drei Primärteilen einschließlich der Vakuumkammer, der Dampfquelle und dem Target. Die Vakuumkammer ist dort, wo der eigentliche Prozess stattfindet. Dabei wird die Umgebung auf ein hohes Vakuum reduziert, um die gewünschte Substrattemperatur zu erreichen und gleichzeitig das Werkstück vor atmosphärischen Verunreinigungen zu schützen. Die Dampfquelle befindet sich typischerweise innerhalb der Vakuumkammer. Hierbei wird der Verdampfungs- oder Sputtervorgang durch einen Lichtbogen, einen heißen Faden oder eine Glimmentladung eingeleitet. Das gewünschte Metall wird innerhalb der Dampfquelle positioniert und bis zur Ionisation seiner Atome erhitzt und schließlich in die Gasphase ausgestoßen. Dieses verdampfte Material kondensiert dann auf das Targetsubstrat. Die Eigenschaften der Beschichtung werden durch verschiedene Betriebsbedingungen wie Temperatur, Druck und Zusammensetzung des Atomflusses bestimmt. Schließlich ist das Targetsubstrat der Empfänger der verdampften Beschichtung. Es kann jedes Material sein, das dem im Beschichtungsprozess erforderlichen thermischen, elektronischen oder Ionenbeschuss standhalten kann. Typischerweise ist das Zielsubstrat sehr sauber und besteht aus Material, das verschleißfest ist und eine gute Korrosionsbeständigkeit aufweist. PVD-Systeme sind unglaublich vielseitig und bieten dem Anwender eine bemerkenswerte Präzision und Wiederholbarkeit. Ihre hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit machen sie ideal für viele verschiedene Branchen. Da NOVELLUS PVD-Systeme immer raffinierter werden und eine bessere Kontrolle bieten, werden sie zur bevorzugten Methode für viele verschiedene Veredelungen und Beschichtungen.
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