Gebraucht NOVELLUS Sabre Next #293704428 zu verkaufen

Hersteller
NOVELLUS
Modell
Sabre Next
ID: 293704428
Electro copper plating system.
NOVELLUS Sabre NeXT ist ein von NOVELLUS Systems, Inc. Diese Ausrüstung ist für die fortgeschrittene Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten mit fortschrittlicher Technologie konzipiert. Sabre NeXT verfügt über eine erweiterte Multi-Source-Funktion, mit der bis zu acht Quellen gleichzeitig verwendet werden können. Dies ermöglicht eine präzise Abscheidung mehrerer Schichten auf dem Substrat mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit auf großen Substraten. Ermöglicht wird das Verfahren durch ein einzigartiges Gasverteilungssystem, das die Menge und Richtung der der Kammer zugeführten Gase genau regelt. NOVELLUS Sabre NeXT verfügt über einen sehr niedrigen Druckmechanismus, der einen reduzierten Kondensationsverlust der Ausgangsmaterialien und verbesserte Abscheideraten ermöglicht. Dies gewährleistet auch die Herstellung gleichmäßiger und fehlerfreier Folien mit minimaler Partikelverunreinigung. Der Sabre NeXT-Reaktor besteht aus zwei Hauptkammern: der Vorkammer und der Hauptabscheidungskammer. Die Vorkammer ist für die Lösungsmittelverdampfung und Pyrolyse von Abscheidungsvorläufern ausgelegt, während die Hauptabscheidungskammer für den Dünnschichtabscheidungsprozess vorgesehen ist. In der Vorkammer erfolgt die Pyrolyse der Lösungsmittelverdampfungs- und Abscheidungsvorstufen und in der Hauptkammer schließlich der dünne Film. Darüber hinaus verfügt der NOVELLUS Sabre NeXT-Reaktor über eine erweiterte Temperaturüberwachungs- und Regelungsfähigkeit und gewährleistet präzise Substrattemperaturen während des gesamten Abscheidungsprozesses. Sie weist außerdem eine gleichmäßige Spüleinheit zur schnellen und präzise gesteuerten Spülung der Abscheidekammer auf. Die fortschrittliche Software ermöglicht eine einfache Änderung der Prozessparameter und Rezepte und passt die Ablagerungsrezepte schnell über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche an. Sabre NeXT ist eine leistungsstarke und zuverlässige CVD-Maschine, die fortschrittliche Fähigkeiten und Spitzentechnologie zum Abscheiden von dünnen Filmen mit exakter Kontrolle bietet. Es bietet eine hervorragende Gleichmäßigkeit der Folien, eine hervorragende Gleichmäßigkeit zwischen Wafer und Wafer sowie eine überlegene Gesamtfehlerkontrolle. Der NOVELLUS Sabre NeXT Reaktor eignet sich für die Herstellung von Großserien und ist ideal für verschiedene Forschungs- und Entwicklungszwecke sowie industrielle Anwendungen.
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