Gebraucht NOVELLUS Sabre XT #293610632 zu verkaufen

NOVELLUS Sabre XT ist ein fortschrittlicher Ätzreaktor, der Herstellern die Möglichkeit bietet, komplexe Muster mit hoher Präzision zu erstellen. NOVELLUS SABREXT ist mit drei Stufen des Ionenbeschusses für maximale Kontrolle ausgestattet und modular aufgebaut. Es ist in der Lage, Strukturen mit Funktionsgrößen von einem Mikron bis 35 Nanometer zu produzieren. Die Werkzeugkits von Sabre XT sollen Herstellern helfen, höhere Präzision zu erreichen und eine Vielzahl von komplexen Ätzprozessen mit Leichtigkeit durchzuführen. Die erste Stufe des Ionenbeschusses verwendet eine Trifeld-Schrittausrüstung und zielt auf die gewünschten Bereiche des Substrats ab. Durch die gezielte Auswahl des zu ätzenden Bereichs und die präzise Realisierung von Form- und Formgröße ermöglicht dieses System den Benutzern von SABREXT eine größere Kontrolle, die es ihnen ermöglicht, komplexe Muster mit genaueren Ergebnissen zu erstellen. Die zweite Stufe des Ionenbeschusses ätzt tief im Material und schafft Merkmale mit Breiten zwischen 350 Nanometern und 1 Mikrometern. Dieser Prozess ermöglicht es Herstellern, die Standards der Serienreife zu erfüllen und gleichzeitig die gewünschte Merkmalsgenauigkeit zu erreichen. Die Endstufe des Ionenbeschusses besteht aus Kupferätzen und kann Merkmale mit einer Breite von weniger als 35 Nanometern erzeugen. Die Kupferätzung bietet höhere Auflösungsmuster mit einer reduzierten Zeit bis zur Fertigstellung. NOVELLUS Sabre XT ist zudem mit einer Automatisierungs-Workstation und kompletter Software ausgestattet, mit der Anwender ihren Prozess automatisch überwachen, analysieren und optimieren können, um maximale Erträge und Produktivität zu erzielen. Die fortschrittliche Steuereinheit „Robustication“ sorgt auch beim Ätzen mehrerer Schichten mit unterschiedlichen Photomasken für zuverlässige Leistung und wiederholbare Ergebnisse. Insgesamt ist NOVELLUS SABREXT ein fortschrittlicher Ätzreaktor, der eine präzise Ätzung komplexer Muster bei minimaler menschlicher Intervention ermöglicht. Mit seinen drei Stufen des Ionenbeschusses, der fortschrittlichen Workstation und der Steuerungsmaschine „Robustication“ können Hersteller hochauflösende Muster in der Serienproduktion erzielen.