Gebraucht NOVELLUS Sabre XT #293713734 zu verkaufen
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ID: 293713734
System
(5) PC:
(3) Node computers
Proteus computer
Chase computer
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NOVELLUS Sabre XT ist ein Reaktor, der aus einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP), einer Reaktionskammer und einstellbaren Gaszuführungen zur präzisen Steuerung der Prozessumgebung besteht. Die ICP-Quelle verwendet HF-Energie, um mehrere Plasmakolben von Prozessgasen zu erzeugen, die gleichmäßig verteilt von der Quelle nach außen diffundieren. Die Quelle des Plasmas ist hoch einstellbar, so dass es auf die Anforderungen für verschiedene Plasmaprozesse zugeschnitten werden kann. Die Reaktionskammer ist in der Lage, Gas und Druck schnell und genau einzustellen, was eine präzise Steuerung der Prozessumgebung ermöglicht. Dieser Reaktor eignet sich gut für viele Prozesse wie CVD, PECVD und Plasmaätzen. NOVELLUS SABREXT ist ein flexibler und hocheffizienter Reaktor. Es ist in der Lage, einem weiten Temperaturbereich standzuhalten, so dass es für Prozesse verwendet werden kann, die einen großen Temperaturbereich erfordern. Darüber hinaus ermöglicht die Verwendung einer einstellbaren HF-Zuführung eine präzise Steuerung der Energiedichte des Plasmas. Dies ermöglicht Prozesse, bei denen dünne Schichten verschiedener Materialien wie Siliziumoxid und Siliziumnitrid auf Substrate aufgebracht werden. Dieses Merkmal ermöglicht auch eine effizientere Plasmaätzung und Reinigung von Substraten. Sabre XT Reaktor ist auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um den Benutzer und die Ausrüstung zu schützen. Sie ist für einen sehr strengen Temperatur- und Druckbereich ausgelegt und kann bei Prozessfehlern oder Störungen schnell abschalten. Darüber hinaus ist es auch mit Gasströmungssensoren ausgestattet, die eine schnelle und genaue Anpassung an die Prozessumgebung ermöglichen. Dadurch wird sichergestellt, dass eventuelle Gefahrgase schnell aus der Kammer entfernt werden, bevor sie Schaden anrichten können. Insgesamt ist der SABREXT Reaktor ein hocheffizienter und zuverlässiger Reaktor für viele plasmabasierte Prozesse. Sein einstellbarer HF-Feed ermöglicht eine präzise Kontrolle der Energiedichte des Plasmas und seine Sicherheitsmerkmale sorgen für zusätzliche Sicherheit. Die Vielfalt der Material- und Prozessoptionen machen den Reaktor zu einer idealen Wahl für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Darüber hinaus stellt die Fähigkeit zur schnellen Nachjustierung der Prozessumgebung sicher, dass der Prozess sicher bleibt und eventuelle Gefahrgasschwaden schnell aus der Kammer entfernt werden.
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