Gebraucht NOVELLUS Sabre XT #9028619 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9028619
Electro Chemical Deposition (ECD) system, 12"
Install Type: Stand-Alone
SEMI S2-93A & CE Marking Compliance
Cassette Interface:
(2) 300mm 25-slot FOUP Load-Ports
Auto Wafer/Cassette Mapping
Wafer Center Find
4-Axis Wafer Handling Robot (ATM) with vacuum pick
Mini-Environment (Class 1 HEPA), Hunt Air System
Main Unit:
SS Backbone & Enclosure
Polyester Powder Coat Paint Finish Cover Panels
Status Lamp (R/Y/G/B) – FI Mounted
Front-side User Interface (UI)
2.0mm plating edge exclusion (requires full coverage barrier/seed)
Bath Control Module:
Metering of (3) bath additives
DI & fresh plating solution
Bath Chemistry control algorithm (Smart Dose), corrects for additive decomposition
Central bath reservoir for plating modules
2nd Containment (Splash Guards & Leak Detection)
(3) Plating modules:
Copper Anodes (4N)
Field Shaping Elements
Anode Chambers & Membranes
Plating Cells (minimize copper effluent)
Pulse Plating Power Supply
Flat Thickness distribution profile kit
0.05um Final Filters
Dual Waste Stream Plumbing:
Dedicated plating solution reclaim
Dilute rinse water waste stream
Pentium Computer/Controller
Chase Computer
GUI-Based controlling software
SECS/GEM SW – Proteus
Active Top Hat
Options:
Bevel Etch for all (3) SRDs: On-board Chemical Dilution/Mix unit (200mm ver)
CMS Readiness Kit
Manuals (Std & CR versions) may be avail. with tool at time of sale
Customer Engineering Specials (CESs):
CES PTC 40269A – 75’ Heater/Chiller Cables
CES PTC 40228A – ½ Height EMO
CES PTC 40230A – Light Tower Label
CES PTC 40231A – DI Shut Off
CES PTC 40234A – Door with Rounded Corner
CES PTC 40237A – LOTO Label
CES PTC 40250A – SRDX Container Cover
CES PTC 40248A – Label Power Box
CES PTC 40224B – Hermos Lot ID
CES PTC 40292A – Dosing Door
CES PTC 40291A – Power Box Captive Screws
CES PTC 40290A – Neslab Main TB Removal
CES PTC 40289A – SRD Controller Ground Wire
CES PTC TBD - SAC
CES PTC 40311A – FM 4910 Material ( 4 Items )
CES PTC 40312A – FM 4910 Material Tertiary Containment Tray
CES PTC 40311B – FM 4910 Windows
CES PTC 40320A – FM 4910 Panels
CES PTC TBD - FM 4910 ( Internal ) Cost Estimate
Supporting Equipment:
(1) Neslab Heat Exchanger/Chiller
Neslab Cable Kit (35ft)
Chemicals / Gases used with tool:
ENTHONE VIAFORM MAKEUP LA
CUBATH VIAFORM SUPPRESSOR, ACCELERATOR, LEVELER
COPPER (GENERIC)
SILVER NITRATE SOLUTION (0.01N-0.3N)
SODIUM HYDROXIDE, 1 N REAGENT
QUALICHEM CU, CU REAGENT 2
SULFURIC ACID 98% VLSI GRADE
HYDROGEN PEROXIDE 30% UHP
Facility Connections:
Drain: Bottom fed
Exhaust: Top fed
Facility Requirements:
CDA
Water (Chilled Tap & DI)
Vacuum
Power: 208VAC, 120A, 3-Phase, Freq 60Hz
2003 vintage.
NOVELLUS Sabre XT ist ein hochintegriertes Hochleistungs-Reaktivionenätzwerkzeug (RIE) der nächsten Generation, das den Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung gerecht wird. NOVELLUS SABREXT verfügt über eine von NOVELLUS patentierte schnell geätzte, schnelle Verarbeitungstechnologie, die ein präzises Ätzen sowohl in ein- als auch doppelmetallischen Anwendungen ermöglicht. Sabre XT verfügt über eine modulare Kammerkonstruktion mit einer großen Ätzkammer und einem kompakten Bodenabschnitt. Mit einer Gesamtfläche von weniger als drei Quadratmetern ist SABREXT ideal für große Serienumgebungen und ermöglicht einen effizienten Transfer von Wafern von einer Kammer zur nächsten. Die kompakte Bauweise ermöglicht auch das Füllen und Beladen von Wafern in derselben Kammer. Im Zentrum von NOVELLUS Sabre XT steht NOVELLUS AP-1000, eine patentierte hochdichte, fortschrittliche Plasmaquelle. Das AP-1000 nutzt ein einzigartiges Gasverteilungssystem, um eine ausgezeichnete Ätzgleichmäßigkeit bei hohen Ätzraten zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das AP-1000 für den Einsatz mit einer breiten Palette von Gasen konzipiert, was zu einer qualitativ hochwertigen Ätzung für eine Vielzahl von Materialien führt. NOVELLUS SABREXT verfügt auch über NOVELLUS patentierten schnellen Etch-Prozessor (FEP). Dieses kammerintegrierte System ermöglicht es Sabre XT, den Gasmix nach Parametereinstellungen automatisch zu steuern, so dass eine präzise Prozesssteuerung jederzeit aufrechterhalten wird. Das FEP kompensiert auch etwaige Schwankungen des Gasdrucks oder der Strömung und passt die Prozessparameter pro Rezept schnell an. SABREXT ist auch mit NOVELLUS SmartXtend-Schnittstelle ausgestattet, die es einfacher denn je macht, NOVELLUS Sabre XT zu steuern und seinen Betrieb zu überwachen. Die SmartXtend-Oberfläche verfügt über einen intuitiven Touchscreen und eine grafische Benutzeroberfläche, die eine vereinfachte Bedienung und präzise Rezeptparameter-Abstimmung ermöglicht. Zusammenfassend ist NOVELLUS SABREXT ein leistungsstarkes und hocheffizientes fortgeschrittenes reaktives Ionenätzwerkzeug, das sich ideal für die Serienproduktion eignet. Der geringe Platzbedarf, das integrierte Kammerdesign und die fortschrittliche Plasmaquelle und der FEP-Prozessor machen Sabre XT zu einer perfekten Wahl für jede anspruchsvolle Geräteherstellungsumgebung.
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