Gebraucht NOVELLUS Sabre XT #9104570 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9104570
Cu Plating system
(2) Computers
HDD
CDS (Chemical delivery system): ATMI
Missing parts:
Chemical circulation pump
DC Power supply
CMS Unit
Chiller
Lifter controller
ATMI MCS P/N: 10-6016-00
(2) ATMI MDS P/N :10-5030-00
BDI: No
ECI QLC-7000
NESLAB HX-75A
BROOKS Aqua Tran TM 7
2003 vintage.
NOVELLUS Sabre XT, entworfen und hergestellt von Lam Research Corporation, ist ein Reaktor der nächsten Generation der atomaren Schichtabscheidung (ALD). NOVELLUS SABREXT ist ein revolutionäres Konzept in der Waferfertigung, das die Abscheidung von Dünnschichtbeschichtungen in extrem präzisen und gleichmäßigen Schichten ermöglicht. ALD wird in hochpräzisen Industrien wie Halbleiter- und High-End-Optik eingesetzt und Sabre XT ist dafür optimiert. Die Kernarchitektur von SABREXT basiert auf einem plasmaverbesserten ALD (PEALD) -Design, das es ermöglicht, einzigartige Herausforderungen in modernen Fertigungsumgebungen zu bewältigen. Der Reaktor ist mit einer Reihe von Prozessfähigkeiten wie mehrstufige Temperaturregelung, hohe Abscheidungsraten und chemische Vorläuferlieferung ausgestattet. Es kann auch Standardprozessanforderungen wie thermisches und ultraviolettes Glühen, Spin Coating und Lösungsmittelglühen behandeln. NOVELLUS Sabre XT wurde entwickelt, um genaue und wiederholbare Abscheidungsergebnisse zu liefern. Seine präzisionsgesteuerte Plasmaquelle reicht von 500 bis 5.000 Watt, und sein verteiltes Temperaturregelsystem ermöglicht eine präzise Temperaturgleichförmigkeit zwischen Wafern. Darüber hinaus ermöglicht seine hochpräzise Düse eine präzise Steuerung der chemischen Vorläuferlieferung. Unterm Strich bietet NOVELLUS SABREXT zudem deutlich reduzierte Prozesszykluszeiten und reduzierte Schrott, ohne Qualitätskompromisse. Sein flexibles Design und hohe Verarbeitungsgeschwindigkeiten ermöglichen kürzere Produkt-zu-Markt-Zeiten. Die fortschrittlichen Prozessleitsysteme ermöglichen einen besseren Ertrag und geringere Materialkosten und die automatisierten Überwachungssysteme reduzieren den manuellen Eingriff bei der Herstellung. Abschließend bietet der Sabre XT ALD Reaktor bedeutende Vorteile für die Halbleiter- und Optikindustrie mit seiner umfassenden Palette an fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten. Es bietet Präzision und Genauigkeit wie kein anderes ALD-System auf dem Markt heute, ermöglicht kürzere Produkt-zu-Markt-Zeiten und reduzierte Schrott, ohne Kompromisse bei der Qualität.
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