Gebraucht NOVELLUS Sabre XT #9146195 zu verkaufen

NOVELLUS Sabre XT ist eine Einzelwafer-Multi-Reaktor-Ausrüstung, die den sich verstärkenden Anforderungen der ultragroßen Geräteherstellung gerecht wird. Mit IGBT, MOSFET, GaN oder anderen Geräten hat NOVELLUS SABREXT die Fähigkeit, eine optimale Leistung über eine breite Palette von Wafergrößen zu liefern, in einer Vielzahl von Prozessen bis hin zur neuesten 3DIC fortschrittlichen Verpackung. Sabre XT verfügt über ein patentiertes Multi-Reaktor-Design, mit dem mehrere Abscheide-, Ätz- und Implantatprozesse in einem einzigen Werkzeug durchgeführt werden können. Das innovative Reaktordesign ermöglicht die parallele Bearbeitung von Wafern ohne Kreuzkontamination und den gleichzeitigen Betrieb mehrerer Bearbeitungswerkzeuge. Neben einem höheren Durchsatz auf einem einzelnen Wafer kann SABREXT mehrere Wafer in einem einzigen Rezept verarbeiten. Dieser hybride Fertigungsansatz ermöglicht eine chargenartige Fertigung mit der Flexibilität der Single-Wafer-Performance. NOVELLUS Sabre XT verfügt über ein modernes Mehrzonen-Vakuumsystem, das eine kontrollierte Umgebung in allen Bereichen der Kammer ermöglicht, einschließlich Temperatur- und Druckregelung. Diese Funktion wurde entwickelt, um die Verarbeitungsgeschwindigkeit mit mehreren Vakuumbereichen zu optimieren, um eine reduzierte Verschmutzung zu erreichen und den Zeitaufwand für Pumpvorgänge zu minimieren. NOVELLUS SABREXT ist auch mit fortschrittlichen Überwachungssystemen ausgestattet, einschließlich Software-Tools, die alle Aspekte des Prozesses überwachen, einschließlich Gasdruck, Wafertemperatur, Kammerdruck und mehr. Die Überwachung ermöglicht eine schnelle und genaue Beurteilung des Zustandes des Reaktors vor und während der Verarbeitung. Schließlich wurde Sabre XT entwickelt, um eine ideale Plattform für erweiterte Abscheidungsstufen wie HDP, CVD, ALD, PECVD und mehr zu bieten. Mit seiner Multi-Reaktor-Konfiguration ist SABREXT in der Lage, die anspruchsvollsten Anforderungen an die Abscheidung zu erfüllen und stets außergewöhnliche Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit zu bieten. Abschließend ist NOVELLUS Sabre XT so konzipiert, dass es den Anforderungen der ultragroßen Geräteherstellung gerecht wird. Mit seinem patentierten Multi-Reaktor-Design, der fortschrittlichen Mehrzonen-Vakuumeinheit und fortschrittlichen Überwachungssystemen ist NOVELLUS SABREXT in der Lage, eine umfassende Lösung für eine breite Palette von Anwendungen bereitzustellen. Für diejenigen Hersteller, die eine leistungsstarke Multi-Reaktor-Abscheidemaschine benötigen, ist Sabre XT die ideale Lösung.