Gebraucht NOVELLUS Sabre XT #9183435 zu verkaufen

NOVELLUS Sabre XT Reactor ist ein robuster Hochleistungsreaktor für CVD-Anwendungen. Es eignet sich hervorragend für eine fortschrittliche Waferfertigung, die verbesserte Gerätegeometrien und anspruchsvolle Anforderungen an die Metallabscheidung umfasst. NOVELLUS SABREXT Reactor ist ein hochproduktives Dualzonen-Heißwand-CVD-System mit Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Plasmaquellentechnologie. Diese Technologie erzeugt eine sehr gleichmäßige Plasmaverteilung, um gleichmäßige Schichten und fortschrittliche Dotierstoffprofile unabhängig von der Substratgröße zu gewährleisten. Sabre XT Reaktor garantiert schnelle Wachstumsraten und ermöglicht schnelle Prozessaufbauzeiten. Der SABREXT-Reaktor wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Prozessanforderungen zu erfüllen und wurde für eine außergewöhnliche Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit entwickelt. Es verfügt über fortschrittliche Prozesskontrolltechniken wie Dual-Zone-Druckkontrolle, rezeptbasierte Lenkung und spektroskopische In-situ-Charakterisierung, die die genaueste und effizienteste Prozesskontrolle ermöglichen. NOVELLUS Sabre XT Reaktor bietet überlegene Wafer-Gleichmäßigkeit für erweiterte Geräteformtoleranz und ausgezeichnete Oxidqualität, indem Prozessoptimierung über die Grenzen herkömmlicher Reaktorkonstruktionen hinaus ermöglicht wird. Es bietet eine außergewöhnliche Kontrolle der Schichtdicke, Glätte und Zusammensetzung Gleichmäßigkeit, ohne den Durchsatz zu beeinträchtigen. Darüber hinaus bietet NOVELLUS SABREXT flexibles Dual-End-Point-Doping mit fortschrittlichen, integrierten HF-Quellen und höchst zuverlässige schnellere thermische und optische Wafertemperaturmessungen mit enger Steuerung. Alle diese Funktionen machen den Sabre XT-Reaktor zu einer hervorragenden Passform für die Herstellung von Hochvolumen-Anwendungen wie magnetischem Random-Access-Speicher (MRAM), dynamischem Random-Access-Speicher (DRAM) und nichtflüchtigem Speicher (NVM). Der SABREXT Reaktor ist daher dank seiner hochmodernen Eigenschaften eine ideale Wahl für ertragreiche, hochwertige CVD-Prozesse. Seine überlegene Prozesswiederholbarkeit, verbesserte Einheitlichkeit und Genauigkeit der Waferbearbeitung machen NOVELLUS Sabre XT zu einer äußerst zuverlässigen und kostengünstigen Lösung für anspruchsvolle Prototyping-Projekte.