Gebraucht NOVELLUS Sabre XT #9275235 zu verkaufen

Hersteller
NOVELLUS
Modell
Sabre XT
ID: 9275235
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Electro copper plating system, 8" Ergo Cassette Loader (ECL) ART7 Robot Clamshell cup: POR PPS Chuck Hard Disk Drive (HDD) missing Integrated frame: (3) Plating modules 3-Phase anode chamber (3) SRD Modules Anneal: (5) Anneal chambers Temperature: 50°C - 400°C Forming gas: H2 BROOKS AUTOMATION 4-Axis atmospheric dual-end effector robot Front end robot: BROOKS AUTOMATION Accutran robot CUP: Pentium SECS/GEM: Comparability System controller Tool generation: SABRE-XT (25) Wafers per cassette Graphic User Interface (GUI) Signal tower: (3) Colors Host connection type: RS232 C Mini-environment: Synetics Desktop PC Central Bath Reservoir: 150 liters for (3) Plating modules Exhaust kit: Top mount Cassette handler module: (3) Load port stations Wafer aligner type: Mechanical center finder End effector Wafer release with puff Magstore 1.7.0 Robot firmware Mapping type: Through beam Plating cell configuration: Cell 1 / 2 / 3 Clamshell: Drive unit, 8" Clamshell cup: 1 A Ceramic Cup Clamshell cone: 196 mm Phase Clamshell cylinder: Pressure vacuum cylinder Anode Type: 3-Phase Clamshell lift Additive dosing: NowPack Bath chemistry: Control algorithm AE Pulse plating power supply Post plating cell configuration: Cell 1 / 2 / 3 Edge bead removal Wafer present sensor mount Bath module: (2) Florite totalizer (3) Dosing pumps Recirculation pump: Inverter NESLAB HX-75 A Heat exchanger 2001 vintage.
NOVELLUS® NOVELLUS Sabre XT Reaktor ist eine präzisionsgesteuerte CVD-Ausrüstung (Chemical Vapor Deposition), die es Kunden ermöglicht, eine hohe Ausbeute und präzise Folienabscheidung auf einer Vielzahl von Materialien durchzuführen. Das System wurde speziell für eine optimierte Dünnschichtabscheidung im Halbleiterherstellungsbereich konzipiert. NOVELLUS SABREXT Reaktor bietet eine Reihe von Vorteilen, wie niedrige Betriebskosten, verbesserte Produktivität, ausgezeichnete Designflexibilität und Konsistenz der Prozessergebnisse. Das Gerät ist hochgenau mit einem hohen Maß an Kontrolle und bietet eine ganze Reihe von Prozessoptionen mit sowohl Ein- als auch Zweikammer-Systemen. Der CVD-Prozess des Sabre XT-Reaktors ist mit einer Reihe von Funktionen wie Vorwärmen, Kühlen und intelligentes Sensing integriert. Die Vorwärmung ist wichtig, um die Substrattemperatur richtig einzustellen, bevor die Abscheidung abläuft. Die Kühlfunktion trägt dazu bei, dass das Substrat nach der Abscheidung schnell wieder auf die gewünschte Temperatur gebracht wird. Die intelligente Erfassung des Prozesses ermöglicht es der Maschine, die Gasströme genau zu erfassen, zu identifizieren und zu steuern, wodurch eine präzise und gleichmäßige Abscheidung der Folie gewährleistet ist. Der Reaktor weist eine einzigartige Filterkammerkonstruktion auf, die das Einbringen von Partikeln in die Prozesskammer minimiert. Die Crossover-Kammer hilft auch, Kondensation von Prozessgasen zu verhindern, die in den Hauben kondensiert werden. Das Werkzeug weist ein mehrstufiges Verfahren auf, das für den hohen Durchsatz mehrerer Substrate optimiert ist. SABREXT asset verfügt auch über eine fortschrittliche Plasmaquelle, die mit einer Reihe von Gasentsorgungstechnologien kompatibel ist. Die neue Plasmaquelle unterstützt ultrahochreines Quellgas, hohen Drosselgasstrom und hohen Abgasdruck. Dies ermöglicht höhere Abscheideraten, höhere Leistungsdichten und niedrigere effektive Temperatur. Abschließend ist NOVELLUS® NOVELLUS Sabre XT Reaktor ein modernes und fortschrittliches CVD-Modell, das hilft, höhere Erträge und konsistente Ergebnisse im Bereich der Halbleiterherstellung zu erzielen. Die Geräte zeichnen sich durch niedrige Betriebskosten, höhere Produktivität und flexible Designfunktionen aus. Es ist auch mit fortschrittlichen Funktionen wie Vorwärmen, Kühlen und intelligentes Sensing ausgestattet. Das Filterkammerdesign und die spezialisierte Plasmaquelle machen NOVELLUS SABREXT zu einem kompletten Paket für zuverlässige CVD-Prozesse.
Es liegen noch keine Bewertungen vor