Gebraucht NOVELLUS Sabre XT #9275235 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9275235
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Electro copper plating system, 8"
Ergo Cassette Loader (ECL)
ART7 Robot
Clamshell cup: POR
PPS Chuck
Hard Disk Drive (HDD) missing
Integrated frame:
(3) Plating modules
3-Phase anode chamber
(3) SRD Modules
Anneal:
(5) Anneal chambers
Temperature: 50°C - 400°C
Forming gas: H2
BROOKS AUTOMATION 4-Axis atmospheric dual-end effector robot
Front end robot: BROOKS AUTOMATION Accutran robot
CUP: Pentium
SECS/GEM: Comparability
System controller
Tool generation: SABRE-XT
(25) Wafers per cassette
Graphic User Interface (GUI)
Signal tower: (3) Colors
Host connection type: RS232 C
Mini-environment: Synetics
Desktop PC
Central Bath Reservoir: 150 liters for (3) Plating modules
Exhaust kit: Top mount
Cassette handler module:
(3) Load port stations
Wafer aligner type: Mechanical center finder
End effector
Wafer release with puff
Magstore 1.7.0 Robot firmware
Mapping type: Through beam
Plating cell configuration: Cell 1 / 2 / 3
Clamshell: Drive unit, 8"
Clamshell cup: 1 A Ceramic Cup
Clamshell cone: 196 mm Phase
Clamshell cylinder: Pressure vacuum cylinder
Anode Type: 3-Phase
Clamshell lift
Additive dosing: NowPack
Bath chemistry: Control algorithm
AE Pulse plating power supply
Post plating cell configuration: Cell 1 / 2 / 3
Edge bead removal
Wafer present sensor mount
Bath module:
(2) Florite totalizer
(3) Dosing pumps
Recirculation pump: Inverter
NESLAB HX-75 A Heat exchanger
2001 vintage.
NOVELLUS® NOVELLUS Sabre XT Reaktor ist eine präzisionsgesteuerte CVD-Ausrüstung (Chemical Vapor Deposition), die es Kunden ermöglicht, eine hohe Ausbeute und präzise Folienabscheidung auf einer Vielzahl von Materialien durchzuführen. Das System wurde speziell für eine optimierte Dünnschichtabscheidung im Halbleiterherstellungsbereich konzipiert. NOVELLUS SABREXT Reaktor bietet eine Reihe von Vorteilen, wie niedrige Betriebskosten, verbesserte Produktivität, ausgezeichnete Designflexibilität und Konsistenz der Prozessergebnisse. Das Gerät ist hochgenau mit einem hohen Maß an Kontrolle und bietet eine ganze Reihe von Prozessoptionen mit sowohl Ein- als auch Zweikammer-Systemen. Der CVD-Prozess des Sabre XT-Reaktors ist mit einer Reihe von Funktionen wie Vorwärmen, Kühlen und intelligentes Sensing integriert. Die Vorwärmung ist wichtig, um die Substrattemperatur richtig einzustellen, bevor die Abscheidung abläuft. Die Kühlfunktion trägt dazu bei, dass das Substrat nach der Abscheidung schnell wieder auf die gewünschte Temperatur gebracht wird. Die intelligente Erfassung des Prozesses ermöglicht es der Maschine, die Gasströme genau zu erfassen, zu identifizieren und zu steuern, wodurch eine präzise und gleichmäßige Abscheidung der Folie gewährleistet ist. Der Reaktor weist eine einzigartige Filterkammerkonstruktion auf, die das Einbringen von Partikeln in die Prozesskammer minimiert. Die Crossover-Kammer hilft auch, Kondensation von Prozessgasen zu verhindern, die in den Hauben kondensiert werden. Das Werkzeug weist ein mehrstufiges Verfahren auf, das für den hohen Durchsatz mehrerer Substrate optimiert ist. SABREXT asset verfügt auch über eine fortschrittliche Plasmaquelle, die mit einer Reihe von Gasentsorgungstechnologien kompatibel ist. Die neue Plasmaquelle unterstützt ultrahochreines Quellgas, hohen Drosselgasstrom und hohen Abgasdruck. Dies ermöglicht höhere Abscheideraten, höhere Leistungsdichten und niedrigere effektive Temperatur. Abschließend ist NOVELLUS® NOVELLUS Sabre XT Reaktor ein modernes und fortschrittliches CVD-Modell, das hilft, höhere Erträge und konsistente Ergebnisse im Bereich der Halbleiterherstellung zu erzielen. Die Geräte zeichnen sich durch niedrige Betriebskosten, höhere Produktivität und flexible Designfunktionen aus. Es ist auch mit fortschrittlichen Funktionen wie Vorwärmen, Kühlen und intelligentes Sensing ausgestattet. Das Filterkammerdesign und die spezialisierte Plasmaquelle machen NOVELLUS SABREXT zu einem kompletten Paket für zuverlässige CVD-Prozesse.
Es liegen noch keine Bewertungen vor