Gebraucht NOVELLUS Sabre #9285084 zu verkaufen

NOVELLUS Sabre ist ein hochmoderner Hochleistungsreaktor für fortgeschrittene Ätz- und Abscheidungsanwendungen. Dank innovativem Prozessdesign, fortschrittlichen Materialien und intelligenter Automatisierung ist es in der Lage, überlegene Prozessgleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit, Ertrag und Produktivität zu liefern. Die Anlage basiert auf einer wasserstoff- und argonbasierten induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP), die eine homogene und unbeschränkte Plasmaquelle für maximalen Produktionsdurchsatz liefert. Die ICP-Quelle wird mit einem dynamisch konfigurierten In-situ-Plasma-Reflektometer (ISPR) kombiniert, das genaue und momentane Plasmaablesungen erhält und eine genaue Echtzeit-Überwachung und Rückkopplung von Ätz- und Abscheidungsprozessen ermöglicht. Durch das innovative Prozessdesign von Sabre können auch bis zu sechs Prozessmodule gleichzeitig mit jeweils eigenen Parametern in den Reaktor programmiert werden. Dies ermöglicht die Optimierung mehrerer Prozessschritte mit einer Maschine im Gegensatz zur Verwendung mehrerer Prozessanlagen innerhalb einer einzigen Prozesskammer. NOVELLUS Sabre verfügt auch über eine flexible Kammerarchitektur, so dass es für eine breite Palette von Ätz- und Abscheidungsanwendungen angepasst werden kann. Das vielseitige Kammerdesign verwendet verschiedene numerische Aperturoptiken, Wellenleiterträger und Prozessverschlüsse, um hohe Abscheideraten und niedrige Partikelerzeugung zu erreichen. Das System verfügt auch über eine modulare Prozesssteuereinheit, mit der Benutzer ihre Reaktormaschine ohne größere Werkzeugüberholungen leicht modifizieren und aktualisieren können. Darüber hinaus können Anwender die Vorteile der erweiterten Diagnosesuite und der vorausschauenden Instandhaltung nutzen, um Einblicke in die Modellleistung zu erhalten und die Verfügbarkeit zu maximieren. Schließlich ermöglichen die erweiterten Automatisierungsfunktionen von Sabre es Benutzern, wiederholbare Prozesse für einen hohen Volumendurchsatz zu programmieren. Durch die Verwendung komplexer Algorithmen kann das Gerät jedes Prozessrezept für höhere Erträge und einen höheren Produktionsdurchsatz entwerfen und optimieren und gleichzeitig Kosten und Energieverbrauch senken. Alles in allem ist NOVELLUS Sabre ein fortschrittliches Reaktorsystem, das auf die Anforderungen jeder Ätz- und Abscheidungsanwendung zugeschnitten werden kann. Mit seiner Hochleistungs-Plasmaquelle, Prozessflexibilität und Automatisierungsfunktionen ist Sabre wirklich eine hochmoderne Einheit, die sich perfekt für Hochleistungs-Produktionsanwendungen eignet.