Gebraucht NOVELLUS Sabre #9299039 zu verkaufen

NOVELLUS Sabre ist ein Hochleistungs-Präzisionsreaktor zur Abscheidung von Dünnschichtmaterialien auf Substraten. Dieser Reaktor wird in dem bei der Mikrochip-Herstellung eingesetzten Dünnschichtabscheideverfahren, allgemein als „Metallabscheidung“ bezeichnet, eingesetzt. Sabre ist ein fortschrittliches Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) -Werkzeug, das es Herstellern ermöglicht, eine präzise Kontrolle der während des Prozesses abgeschiedenen Materialien zu erreichen. NOVELLUS Säbeldesign basiert auf dem Geradlinigen Dimethyl Generellen Molekularen Balkenkristallwachstumsreaktor (LDB-MBE). Durch diese bahnbrechende Ausrüstung entfällt die Notwendigkeit eines Eintrittsfensters, was zu höheren Ausbeuten und weniger Partikelverunreinigungen führt. Darüber hinaus sorgt der Einsatz eines Doppelkammersystems für höhere Stabilität und höhere Abscheidegeschwindigkeiten. Säbel besteht aus zwei Primärkammern: der Unteren Bearbeitungskammer (LPC) und der Oberen Bearbeitungskammer (UPC). Das LPC enthält die Geschütztöpfe, Tiegel und die Abscheidungsquellenmaterialien. Die Pistolentöpfe sind auch bekannt als Elektronzyklotronklangfüllemikrowellenfrequenzquellen, der die hoch energischen Atombalken schafft, die auf die Substratoberfläche für den Absetzungsprozess geleitet werden. Die Tiegel werden aus feuerfester Legierung hergestellt und halten die flüssigen Quellen in sich. Der UPC besteht aus dem Heiz-/Kühlschild (H/C-Schild), dem Substrathalter und der Abgasleitung. Die H/C-Abschirmung dient zur Aufrechterhaltung der Temperaturregelung des Substrats während des Abscheidungsprozesses. Der Substrathalter hat die Fähigkeit, mehrere Wafer gleichzeitig zu halten und automatisch für eine gleichmäßige Beschichtung zu nivellieren. Die Abgasleitung fügt eine zusätzliche Steuerung hinzu, die verhindert, dass Abfälle und Abgase in den Abscheidungsbereich gelangen. NOVELLUS Sabre Reaktor verfügt auch über eine Quarzabscheidungszone und Tiegeldruckregelung, die Gleichmäßigkeit der Dünnschichtabscheidung bietet und reproduzierbare Ergebnisse erzeugt. Zur maximalen Sicherheit wird eine vollständig Inert Gas Unit (IGS) eingebaut, die die Anwesenheit von schädlichen Gasen wie Ozon oder Hydroxiden während des Abscheidungsprozesses reduziert. Säbelreaktor ist ein ideales Werkzeug für fortschrittliche Mikrochip-Herstellungsprozesse. Die Kombination modernster Technik mit Präzisionstechnik bietet die Möglichkeit, reproduzierbare Ergebnisse sowie hochwertige, gleichmäßige Abscheidefolien zu erzielen. Mit dieser vielseitigen Maschine können Hersteller die Vorteile einer erhöhten Genauigkeit, Sicherheit und Effizienz der Produktion nutzen.