Gebraucht NOVELLUS Sabre #9299776 zu verkaufen

NOVELLUS Sabre ist ein Reaktor, der speziell für die Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Es wird zur Abscheidung von Dünnschichtmaterialien in komplexen integrierten Schaltungen und mikroelektrisch-mechanischen Systemen (MEMS) eingesetzt. Säbel ist ein Batch-Verfahren, das bedeutet, dass der Anwender eine große Anzahl von Substraten zu einem bestimmten Zeitpunkt verarbeiten kann, was ihm einen großen Vorteil gegenüber herkömmlichen Chargenmaschinen verschafft. Es ist ein geschlossenes System und verfügt über vollautomatische Gasverteilungs- und Steuerungsmodule. NOVELLUS Sabre nutzt einen Hochgeschwindigkeits-, Multi-Gun, automatische Auswahl Abscheidung Prozess. Dieses Verfahren ermöglicht die Abscheidung mehrerer Schichten aus Dünnschichtmaterial wie Isolatoren, Metallen und organischen Materialien auf Substraten. Sabre bietet eine präzise Kontrolle des Abscheideprozesses und ist damit eine ideale Wahl für komplexe Prozesse. Der Reaktor weist zwei unterschiedliche Prozesskammern auf, darunter eine Hochtemperaturkammer und eine Niedrigtemperaturkammer. Die Hochtemperaturkammer ermöglicht die extremen Temperaturen für Dünnschichtabscheidungs- und CVD-Prozesse. Die Low-Temp-Kammer bietet bescheidenere Temperaturen und kann für Sol-Gel und Spin-on-Prozesse verwendet werden. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über ein automatisiertes Wafer-Beladesystem, das dafür sorgt, dass Wafer präzise und gleichmäßig auf den Substrathalter geladen werden. Der beheizte Waferhalter ist in der Lage, die Temperatur während des gesamten Abscheidungsprozesses genau zu halten und so eine optimale Waferleistung zu gewährleisten. Der gesamte Prozess kann durch das einzigartige NOVELLUS-Softwarepaket überwacht werden und gewährleistet jedes Mal genaue Ergebnisse. NOVELLUS Sabre verfügt über ein einzigartiges Düsen-Design, das zwei parallele Abscheideprozesse ermöglicht, die gleichzeitig verwendet werden können. Diese Technologie stellt sicher, dass die abgeschiedenen Materialien alle Anforderungen an eine ordnungsgemäße Abscheidung erfüllen. Zusätzlich ist der Reaktor mit einer Hochtemperatur-Effusionsquelle ausgestattet, die für komplexe Verfahren wie konforme Beschichtung und Materialabscheidung eingesetzt werden kann. Abschließend ist Sabre ein leistungsfähiger, effizienter und hochzuverlässiger Reaktor, der komplexe, hochfunktionale integrierte Geräte herstellen kann. Es erfüllt alle Anforderungen an eine moderne Halbleiterverarbeitung und bietet eine präzise Steuerung und Überwachung. Als solches ist dieser Reaktor ein unschätzbares Werkzeug für jede Halbleiterherstellungsanlage.