Gebraucht NOVELLUS Speed #9262058 zu verkaufen

NOVELLUS Speed ist eine fortschrittliche Reaktortechnologie, die von NOVELLUS Systems, Inc. Es ist ein Hochleistungsreaktor, der entwickelt wurde, um schnellere, kostengünstigere Prozesse und die Produktion in der fortschrittlichen Halbleiterindustrie zu ermöglichen. Dieser Reaktor verwendet eine fortschrittliche topographische Methode, um Wafer effizient zu verarbeiten, um den Gesamtdurchsatz zu erhöhen. Der Reaktor besteht aus einer Reihe von Prozesskammern, die einen höheren Durchsatz für die komplexesten Herstellungsverfahren liefern sollen, die heute verfügbar sind. Dazu gehören Verfahren wie chemisch-mechanische Planarisierung (CMP), Halbleiter-Dünnschichtabscheidung, Düsenetch, Plasmaetch und Waferreinigung. Herzstück von Speed ist die topographische uniformierte Wafer Motion (TUWM) Wafer Transport Technologie. Diese Technologie nutzt präzise Einschließungssysteme in Kombination mit automatisierter Bewegungsverfolgung, um den Wafer in der Kammer zu halten. Dadurch wird eine konsistente Strukturierung während des Abscheideprozesses gewährleistet. Darüber hinaus minimiert die TUWM-Wafer-Transporttechnologie Schwankungen innerhalb des Gleichförmigkeitsindex, wodurch der Bedarf an Kammerreinigung reduziert und die mögliche Partikelverschmutzung reduziert wird. NOVELLUS Speed Reaktor verwendet auch eine radikale Plasmaquelle (RPS), um Plasmen zu erzeugen, die für die verschiedenen Prozessanforderungen optimiert sind. Dies erzeugt leistungsstarke, effiziente Plasmen, um hochauflösende Prozesse zu ermöglichen. Das RPS verfügt außerdem über eine abstimmbare Leistungsregelung, die es dem Reaktor ermöglicht, sich auf die Prozesse in der Kammer einzustellen. Der fortschrittliche Speed-Reaktor nutzt auch eine fortschrittliche Temperaturregelung, um eine konsistente Gleichmäßigkeit innerhalb der Kammer zu gewährleisten. Dadurch wird sichergestellt, dass die Prozesskammern während der gesamten Bearbeitungszyklen konsistente Ergebnisse liefern. Die Kombination dieser Komponenten ermöglicht es dem NOVELLUS Speed Reaktor, einen schnelleren Durchsatz und höhere Produktausbeuten bei reduzierten Kosten zu erzielen. Insgesamt ist Speed eine revolutionäre und fortschrittliche Fertigungstechnologie, die auf einen erhöhten Fertigungsdurchsatz ausgelegt ist. Dieser Reaktor setzt auf die kombinierte Anwendung fortschrittlicher Technologien, wie topographische uniformierte Waferbewegung, radikalische Plasmaquelle und optimale Temperaturregelung, um konsistente, qualitativ hochwertige Herstellungsprozesse zu ermöglichen. Dadurch ermöglicht diese Technologie eine schnellere, effizientere und kostengünstigere Herstellung für die Halbleiterherstellungsindustrie.