Gebraucht NOVELLUS Speed #9262827 zu verkaufen

NOVELLUS Speed ist ein fortschrittlicher CVD-Reaktor für hohe Produktivität und Folienqualität. Es ist eine fortschrittliche Abscheidungsausrüstung, die mehrere CVD-Gase gleichzeitig verwendet, um Abscheidungsschichten zu erzeugen, die dünner, dichter und konsistenter sind als das, was mit manuellen Systemen erreicht werden kann. Das fortschrittliche Design und die Fähigkeiten dieses revolutionären Reaktors ermöglichen hohe Schichtabscheidungsraten, hohen Durchsatz und überlegene Wafer-Gleichmäßigkeit. Die Geschwindigkeit wird von einem Pulsed Plasma Power and Delivery System angetrieben. Diese Einheit ist in der Lage, eine breite Palette von Plasmagasleistungen und Drücken von niedrig bis hoch zu erzeugen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Abscheidung präzise kontrolliert wird und die hochwertigsten Schichten hergestellt werden. Der integrierte Plasmaquellengenerator nutzt eine Pulsfrequenz und einen Tastverhältnis, um sicherzustellen, dass die richtige Leistung und der richtige Druck in die Reaktorkammer geliefert wird, um die gewünschten Prozessergebnisse zu erzielen. Das ED Graphite Magnetron Sputtering (GMS) von NOVELLUS Speed ermöglicht zusätzliche Abscheidungstechniken wie reaktives Sputtern, mehrschichtiges und nasses Ätzen. Das GMS ist in der Lage, Schichten höherer Dichte zu erzeugen, die Abscheidungsraten zu erhöhen und die Abscheidungsgleichmäßigkeit zu verbessern und gleichzeitig Materialabfälle zu reduzieren. Das GMS bietet im Vergleich zu herkömmlichen Magnetron-Sputtersystemen bis zu zehnmal mehr Ionisationseffizienz. Die Geschwindigkeit ist auch mit einer fortschrittlichen Prozessüberwachungsmaschine ausgestattet, die in der Lage ist, die Prozessparameter genau zu messen und anormale Prozessbedingungen schnell und einfach zu erkennen. Dieses Werkzeug verfolgt die Abscheiderate jeder Reaktorkammer, die Filmdicke, Verschmutzungsstufen und eine Vielzahl weiterer Parameter in Echtzeit. NOVELLUS Speed nutzt die Ebonite Microwave Technologie, um einen gleichmäßigen Gasfluss und eine gleichmäßige Abscheidung von Wafer zu Wafer zu gewährleisten. Diese Technologie verwendet ausgeklügelte Mikrowellengeneratorsonden, die ein gleichmäßiges Mikrowellen-Plasmafeld innerhalb der HF-Kammer erzeugen und eine bessere Homogenität der Abscheidung und einen hochwertigeren, dickeren Film ermöglichen. Dieses Mikrowellenplasma hat auch die Fähigkeit, die Folienschichten für fortgeschrittene Gerätestrukturen und -konstruktionen leicht zu strukturieren. Geschwindigkeit kommt Standard mit einer Reihe von automatisierten Funktionen wie eine Gasmischanlage, die Standardrezepte automatisiert, ein Online-Rezept-Modifikationsmodell, das Änderungen an der Rezeptur verfolgt, und eine Echtzeit-Lecksuche Ausrüstung, die kontinuierlich testet die Abgasanlage auf Lecks. NOVELLUS Speed bietet auch eine fortschrittliche Selbstreinigungsfunktion, die ermöglicht werden kann, um eine überlegene Kammerreinigung zu gewährleisten. Speed bietet durch sein fortschrittliches Design, effiziente Energie- und Abgabesysteme, ein einheitliches Mikrowellen-Plasmafeld sowie automatisierte Sicherheits- und Prozessüberwachungssysteme eine hervorragende Abscheidungsleistung. NOVELLUS Speed eignet sich hervorragend für kostengünstige, ertragsstarke Ablagerungen und ist ein echter Marktführer bei der Weiterentwicklung fortschrittlicher Fertigungsprozesse.