Gebraucht NOVELLUS Speed #9272639 zu verkaufen

NOVELLUS Speed ist ein Hochgeschwindigkeits-CVD-Reaktor, der speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Sein innovatives Design ermöglicht schnelle mehrstufige Ablagerungen mit erweiterten Prozessfenstern. Dies bietet den Anwendern die Flexibilität, eine Vielzahl von Materialien und Prozesstechnologien zum Aufbau komplexer integrierter Schaltungen einzusetzen. NOVELLUS Speed Reaktor wurde entwickelt, um die neuesten Fortschritte in der CVD-Technologie zu nutzen, um einen hocheffizienten und zuverlässigen Abscheidungsprozess zu bieten. Es enthält eine einzelne Bühne, schnelllaufender magnetron hat Plasmaquelle erhöht. Diese Quelle nutzt variable Frequenz und hohe Spitzenleistung zusammen mit HF-Anpassungsfähigkeiten, um einen kontrollierten Beschichtungsprozess zu gewährleisten. NOVELLUS Speed Reaktor ist in der Lage, sowohl hohe Konzentrationen als auch niedrige Konzentrationen von Materialien bei Speed abzuscheiden und gleichzeitig Gleichmäßigkeit auf der gesamten Waferoberfläche zu gewährleisten. Zur Verbesserung der Gleichmäßigkeit der Abscheidung ist der NOVELLUS Speed-Reaktor mit einem zweistufigen Substratheizer ausgestattet. Diese Heizung arbeitet zusammen mit dem Magnetron, um eine gleichmäßige Temperatur in der gesamten Reaktorkammer zu halten. Die erste Stufenheizung erwärmt das Substrat auf die erforderliche Abscheidetemperatur, während die zweite Stufenheizung verwendet wird, um die Temperatur nach Bedarf einzustellen. Zur Verbesserung der Prozessstabilität ist der Speed-Reaktor mit einem einzigartigen Mehrzonen-Prozessleitsystem ausgestattet. Dieses System passt die Niveaus von Reaktionspartnern und anderen Prozessparametern nach Bedarf automatisch an, um den Prozess in einer Weise zu optimieren, die nie zuvor möglich war. Durch die Kombination des Mehrzonen-Prozessleitsystems mit fortschrittlicher Diagnostik können Anpassungen ohne Unterbrechung der Verarbeitung im Handumdrehen vorgenommen werden. Der NOVELLUS Speed Reaktor umfasst auch fortschrittliche Reaktantenliefersysteme, die eine hohe Abscheidung unterschiedlichster Materialien in kontrollierten Konzentrationen ermöglichen. Diese Abgabesysteme sind so ausgelegt, dass sie schnell und reproduzierbar reproduzierbar exakte Reaktantkonzentrationen liefern. Darüber hinaus sind die Liefersysteme mit einer automatisierten sequenzierten Reaktantenlieferung ausgestattet, die mehrstufige Prozesse in einem einzigen Werkzeug ermöglicht. Der Geschwindigkeitsreaktor ist das perfekte Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es bietet NOVELLUS Speed und ist flexibel erforderlich, um extrem komplexe integrierte Schaltungen mit außergewöhnlicher Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit schnell zu bauen. Mit seinem innovativen Design und seiner fortschrittlichen Technologie ist Speed Reaktor die beste Wahl für diejenigen, die nach einem zuverlässigen und effizienten CVD-Abscheidungsprozess suchen.