Gebraucht NOVELLUS SYSTEM CONCEPT 2 INOVA #9032880 zu verkaufen

NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVA ist ein hochentwickeltes, innovatives System zur Abscheidung von parallelen Prozessen mit fortschrittlicher Prozesstechnologie, um hohe Raten und hervorragende Konformität auf einer Vielzahl verschiedener Wafertypen zu liefern. Die Einheit bietet überlegene Prozessfähigkeit, Qualität und Wiederholbarkeit und nutzt drei parallele, unabhängige und integrierte endliche Verarbeitungskammern, die in einer einzigen Plattform untergebracht sind. CONCEPT 2 INOVA nutzt die neuesten Entwicklungen in den Prozessen der physikalischen Dampfabscheidung (PVD), der chemischen Dampfabscheidung (CVD) und der niederdruckchemischen Dampfabscheidung (LPCVD). Jede der drei Kammern wirkt unabhängig von den anderen Kammern und trägt gleichzeitig zur Gesamtleistung des Reaktors bei. Jede Kammer ist mit einer eigenen Mikrowellenquelle ausgestattet, so dass auf jedem Wafer unabhängige und optimierte Schichten abgeschieden werden können. NOVELLUS Machine CONCEPT 2 INOVA bietet signifikante Verbesserungen in Steuerungstechnologien, die eine präzise Kontrolle der Abscheidungsumgebung ermöglichen. Das Tool wurde mit den fortschrittlichsten Automatisierungsfunktionen entwickelt und bietet Benutzern volle Integration und Automatisierung. Der automatisierte Maschinenbetrieb erhöht den Durchsatz und senkt die Kosten und liefert gleichzeitig die erwarteten zuverlässigen und wiederholbaren Prozessergebnisse. CONCEPT 2 INOVA nutzt mehrere fortschrittliche Technologien, um die Effizienz und den Durchsatz zu erhöhen. Zu diesen Technologien gehört eine hocheffiziente Dual-Pre-Chamber-Konfiguration, die einen optimierten Gasfluss ermöglicht. Die Magnetverschlusstechnologie bietet eine präzise Steuerung der Gaswolken und ermöglicht eine genaue Gasstrahlregelung für hochauflösende Oberflächen. NOVELLUS Asset CONCEPT 2 INOVA verfügt zudem über eine hochgenaue Arc Jet Chamber, die eine exakt gesteuerte Abscheidung hochauflösender Strukturen ermöglicht. CONCEPT 2 INOVA ist eine multifunktionale Prozessplattform, die in der Lage ist, Prozesse wie Oxid, Nitrid, Metalle und CMP-Prozesse gleichzeitig durchzuführen. Es bietet auch eine Vielzahl von Abscheidungsoptionen wie Sub-ATM, Ultra-Niederdruck und Hochdruck-Betriebsmodi. Das Modell verfügt über die Flexibilität, die für bestimmte Kunden- oder Anwendungsanforderungen konfiguriert werden muss. Neben überlegenen Prozess- und Integrationsmöglichkeiten bietet NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVA eine umfangreiche Palette von Diagnosetools, die den Betreibern einen umfassenden Überblick über den Prozess geben. Die integrierte Überwachung aller Operationen und Parameter bietet den Betreibern die Möglichkeit, Schwankungen und Anomalien im Prozess früher als je zuvor zu erkennen. Darüber hinaus gewährleistet das eingebaute Prozessleitsystem wiederholbare Prozessergebnisse sowie Genauigkeit und Stabilität der Bearbeitungsergebnisse. CONCEPT 2 INOVA bietet ein komplettes Leistungsspektrum, das es zu einer idealen Lösung für jede moderne, fortschrittliche Prozessherstellungsumgebung macht. Mit seiner robusten und zuverlässigen Leistung bietet NOVELLUS Unit CONCEPT 2 INOVA eine erschwingliche, vielseitige und zuverlässige Lösung, um den Anforderungen moderner Abscheideprozesse gerecht zu werden.