Gebraucht OERLIKON LEYBOLD Univex 350 #9409490 zu verkaufen
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OERLIKON LEYBOLD Univex 350 ist ein vertikaler Reaktor zur Oberflächenabscheidung auf Substraten und Dünnschichtabscheidung. Univex 350 ist ein Diffusionsansatzreaktor, der speziell für physikalische PVD-Prozessschritte wie Verdampfung, Sputterabscheidung und andere Techniken entwickelt wurde. Der Reaktor weist ein zylindrisches offenes Taschensystem auf, das einen schnellen Substrataustausch und eine flexible Geometrie ermöglicht. Dies ermöglicht eine Anpassung an schwierige Geometrien wie gestapelte Substrate, schmale Schlitze oder kleine Substratstücke. Der Reaktor besteht aus einer Edelstahlkammer, einem Tiegel in der Mitte, der für Verdampfungsquellen verwendet wird, zwei Quarzfenstern für Druckmessungen und zwei Öffnungen zum Pumpen, Beladen, Entladen und Gaseintrag. Die Steuerung der Kammer erfolgt über zwei unabhängige PID-Regler, die mit einer programmierbaren Logiksteuerung (SPS) verbunden sind. Die Komponenten von OERLIKON LEYBOLD Univex 350 sind programmierbar, wobei Temperatur, Druck und andere Rückmeldungen der Prozesssteuerung von der SPS zur Verfügung stehen. Es verfügt auch über eine automatische Drosselklappe, die es ermöglicht, das Vakuum während des Prozesses stetig aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus umfasst Univex 350 integrierte Prüf- und Sicherheitssysteme für potenzielle Probleme wie starke Verschmutzungen, mechanische Schäden oder Gasleckagen. Diese Sicherheitssysteme sorgen dafür, dass der Reaktor sowohl automatisch als auch manuell betrieben werden kann. Darüber hinaus ermöglicht es das Selbstdiagnoseprogramm dem Benutzer, Ventiloperationen zu überprüfen und Systemparameter zu überwachen. OERLIKON LEYBOLD Univex 350 ist ein zuverlässiger Reaktor, der eine einfache und schnelle Abscheidung von dünnen Schichten aus verschiedenen Materialien ermöglicht. Sein effizientes Design und seine betriebliche Flexibilität sichern seine Leistung und machen es ideal für Industrie- und Forschungszwecke.
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