Gebraucht PICOSUN P-300BV #293769705 zu verkaufen
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ID: 293769705
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2021
Atomic Layer Deposition (ALD) reactor, 6"
Cold source: TMA, H2O
TEMAHF Hot source
Film type: Al2O3, HfO2
2021 vintage.
PICOSUN P-300BV ist ein branchenführender Ultrahochvakuum (UHV) Atomic Layer Deposition (ALD) Reaktor. P-300BV wird vom weltweit führenden ALD-Ausrüster PICOSUN entwickelt und hergestellt. Das Gerät verwendet einen Elektronenstrahl als Energiequelle für das Filmwachstum. PICOSUN P-300BV hat einen geringen Platzbedarf und ist somit ideal für den Einbau in begrenzten Laborräumen. Es verfügt auch über ein modernes optisches Echtzeit-Überwachungssystem, um eine präzise Steuerung des Prozesses zu ermöglichen. Das Gerät bietet auch niedrige Prozesstemperatur und ausgezeichnete Foliengleichförmigkeit. P-300BV eignet sich zur Abscheidung ultradünner gleichmäßiger Schichten aus komplexen Metalloxiden, Nitriden und Dünnschichtstapeln im Ultrahochvakuum. PICOSUN P-300BV ist eine hocheffiziente Maschine, die in der Lage ist, eine breite Palette von Prozesstechniken wie thermische und Plasma ALD. Das Werkzeug enthält eine reaktive Gaseinspritzeinrichtung, die die Abscheidung von Filmen auf Basis präziser chemischer Reaktionen zwischen den gasförmigen Vorstufen und dem Substrat ermöglicht. P-300BV ist auf maximale Prozesseffizienz und Gleichmäßigkeit der Folienqualität ausgelegt. Das Modell ist mit einem vielseitigen Kammerdesign und einem Injektorgerät ausgestattet, das kontrollierte Dosen von Vorläufermaterial bereitstellen kann. Darüber hinaus verfügt das System über eine integrierte Roboterhandhabungseinheit, die eine präzise Probenpositionierung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein hochpräzises optisches Überwachungswerkzeug für die Rückseitenansicht in situ, mit dem die Folienqualität in Echtzeit gemessen werden kann. PICOSUN P-300BV bietet auch eine komplette Reihe von Software-Tools, die zur Überwachung und Steuerung der Abscheideprozessparameter wie Temperatur, Druck, Durchflussrate und Foliendicke verwendet werden können. Mit diesen Software-Tools können Prozessparameter optimiert werden, um einheitliche und hochwertige Folien zu erzeugen. Schließlich ist P-300BV für eine einfache Wartung und Bedienung mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen konzipiert, um die Leistung der Anlage zu gewährleisten. PICOSUN P-300BV bietet zuverlässige und wiederholbare Leistung für eine Vielzahl von ALD-Prozessen. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und seiner robusten Leistung ist P-300BV eine ausgezeichnete Wahl für jeden ultrahohen Vakuum-ALD-Prozess.
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