Gebraucht PLASMATHERM PK-1241 #9135300 zu verkaufen

PLASMATHERM PK-1241 ist ein Hochleistungs-Plasmareaktor, der speziell für Abscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Der Reaktor ist mit einer hochtemperaturkapazitiv gekoppelten Plasmaquelle sowie einem Hochgeschwindigkeits-Massenstromregler zur präzisen Prozesssteuerung ausgestattet. Der Reaktor ist in der Lage, Temperaturen bis zu 130 Celsius zu erreichen und kann Prozesse in drei verschiedenen Modi durchführen - gleichmäßig, richtungs- und einseitig. Die hochfrequente Niederdruckentladung sorgt dafür, dass auch bei anspruchsvollen Prozessmaterialien gleichmäßige und definierte Folien erreicht werden können. Der Reaktor ist in der Lage, eine Vielzahl von Substrattypen wie Silizium, Nitrid und polykristallin zu handhaben. Es ermöglicht eine schnelle Filmabscheidung, was zu kurzen Prozesszeiten und verbesserter Produktionseffizienz führt. Der Reaktor ist mit einer automatischen Wasserkühlung ausgestattet, die einen längeren und effektiven Betrieb ermöglicht. Es ist auch mit einer benutzerfreundlichen HMI (Mensch-Maschine-Schnittstelle) ausgestattet, die individuelle Prozessrezepte bequem programmieren kann. Der Reaktor ist mit einem Temperaturfühlsystem ausgestattet, das das Substrat überwacht und die Prozessparameter optimiert. Darüber hinaus ist die optische Emissionsspektroskopie (OES) optional verfügbar, was eine genaue Prozessüberwachung und -optimierung ermöglicht. Das System verfügt auch über eine End of Film (EOF) -Erkennung, die ein automatisches Abschalten der Plasmaentladung bei Erreichen gewünschter Filmparameter ermöglicht. Die Reaktorkammer ist aus Edelstahl mit besonderem Augenmerk auf Materialverträglichkeit und Korrosionsbeständigkeit aufgebaut. Es wird von einem dreiphasigen Netzteil angetrieben, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Der Reaktor ist CE/EMV-konform und RoHS-zertifiziert. Darüber hinaus ist der Reaktor in zwei Modellen erhältlich - PK-1241LAR und PK-1241NAR. Der PK-1241LAR ist ein lichtbogenarmer großflächiger Reaktor mit einer Substratgröße von bis zu 760 x 510 mm. Der PK-1241NAR ist ein normaler Lichtbogen-, Schmalflächenreaktor mit einer kleineren Substratgröße von bis zu 130 x 40 mm. Beide Modelle verfügen über ein robustes Design, sind einfach zu installieren und zu bedienen und sind in der Lage, zuverlässige und stabile Prozessergebnisse zu liefern. PK-1241 ist eine ausgezeichnete Wahl eines Reaktors für jede Abscheidungsanwendung. Das anspruchsvolle Design, die hohe Leistung und die benutzerfreundlichen Funktionen machen es zum perfekten Werkzeug für eine genaue Filmabscheidung über eine Reihe von Substratgrößen.