Gebraucht PLASMATHERM SEV-2DC #9072382 zu verkaufen

PLASMATHERM SEV-2DC Reactor ist ein Plasmaabscheidungs-/Ätzwerkzeug, das eine Dünnschichtabscheidung auf verschiedenen Substraten ermöglicht. Der Reaktor nutzt eine industrieerprobte Parallelplattenkonfiguration, die eine gleichmäßige Abscheidung von hochwertigen Folien über weite Bereiche ermöglicht. Die Plasmaquelle ist ein linear-induktiv gekoppelter Plasmagenerator (LICP), der hochtemperatur- und hochsteuerbares Plasma an die Substrate liefert. Das Plasma wird durch Anlegen eines Hochfrequenzsignals an eine Antenne oder Induktivität erzeugt. Die Plasmaquelle ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätz- und Abscheidungschemien zu unterstützen. Die Reaktorkammer ist aus Edelstahl aufgebaut und wird hermetisch abgedichtet, um während des Abscheideprozesses ein Vakuum aufrechtzuerhalten. Die innere Kühlung erfolgt durch einen Wasserkreismantel um die Kammerwände herum, um eine gleichmäßige Substrattemperatur während des Betriebs zu gewährleisten. Die Reaktionskammer ist mit zwei angetriebenen HF-Anpassungsnetzwerken und einem angetriebenen HF-Abstimmnetzwerk ausgestattet, um optimale Plasmabedingungen für Abscheide- und Ätzprozesse zu gewährleisten. Neben der Reaktionskammer selbst umfasst der Reaktor eine Reihe weiterer Schlüsselkomponenten. Dies sind eine Vakuumpumpe, Lastverriegelung, Vakuummessgeräte, Gerätesteuerung, Gaspanel, Gasfördersystem und Temperatursensoren. Die Vakuumpumpe ist für die Evakuierung der Kammer und der zugehörigen Leitungen verantwortlich, und der Druck wird durch zwei Vakuummessgeräte überwacht. Das Lastschloß dient zum Einführen und Entfernen von Substraten aus der Vakuumumgebung, ohne den Schild brechen zu müssen, und ein Doppeltüreintritt verhindert einen Verlust des Kammerdrucks. Die Steuereinheit ist eine digitale Maschine, die Benutzerschnittstelle und Steuerung aller Parameter wie Antennenleistung, HF-Anpassungsnetze, Abscheidungsgasdruck und Reaktanteneinspritzung zur Verfügung stellt. Die Gasplatte ist für die Einführung der entsprechenden Reaktanden für Ätz- und Abscheideprozesse zuständig. SEV-2DC Reaktor ist ein vielseitiges und leistungsstarkes Werkzeug für Dünnschichtabscheide- und Ätzprozesse, das hochwertige Folien unter sehr kontrollierbaren Bedingungen ermöglicht. Mit seiner Kombination aus branchenerprobten Funktionen, robuster Hardware und zuverlässiger Steuerung bietet der Reaktor hervorragende Leistung in einer Reihe von Prozessen.