Gebraucht SENTECH SI ALD LL #293651896 zu verkaufen
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ID: 293651896
Weinlese: 2015
Atomic Layer Deposition (ALD) system
Loadlock
2015 vintage.
SENTECH SI ALD LL Reaktor ist eine hochmoderne Ausrüstung entwickelt, um atomare Schichtabscheidung (ALD) von nanoskaligen dünnen Schichten in einer Niederdruckumgebung mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und verbesserter Kontrolle über Abscheidungsparameter durchzuführen. Das System besteht aus drei Hauptkomponenten: der Reaktorkammer, dem Rechner und der Steuereinheit. Die Reaktorkammer besteht aus einer Edelstahl-Vakuumkammer, die das Substrat, das Ausgangsmaterial und das Reaktionsgas aufnimmt. Eine integrierte Ressourcenentsorgungseinheit und eine Differentialpumpmaschine sind ebenfalls enthalten. Der Innenraum ist mit einem Alkanicon™ Elektronenenergie-Analysator (EEM) zur Überwachung der Substratabscheidung und Prozesssteuerung ausgestattet. Darüber hinaus ist die Kammer mit mehreren Heizelementen und einer Turbopumpe ausgestattet, um die gewünschte Atmosphäre und den gewünschten Druck aufrechtzuerhalten. Der Werkzeugcomputer ist eine kompakte Box, die eine Farbe Touch Screen Display für die Bedienung aller Maschinenfunktionen enthält. Dieses Gerät ist mit einem leistungsstarken Prozessor ausgestattet, der den ALD-Prozess automatisch kalibrieren und steuern kann. Seine Software ermöglicht es Benutzern, den Prozess zu programmieren, indem sie Ablagebedingungen und Parameter definieren und manuelle Anpassungen ermöglichen. Die Anlage verfügt auch über vorprogrammierte Steuerungssysteme, um optimale und reproduzierbare Prozesse zu gewährleisten. Schließlich ist die Steuereinheit bzw. der Kern vollständig umschlossen und enthält alle elektrischen Komponenten des SENTECH-Modells. Es umfasst mehrere analoge Anschlüsse, eine digitale Signalprozessoreinrichtung (DSP), eine Servosteuereinheit und eine hochpräzise faseroptische Temperaturregelung. Diese Einheit passt außen auf die Kammer und ist modular aufgebaut, um die Installation und Wartung zu erleichtern. SI ALD LL Reaktor ist eine moderne und funktionsreiche Einheit entwickelt, um eine genaue Abscheidung von nanoskaligen dünnen Schichten in einer sicheren und effizienten Weise zu liefern. Mit ihren fortschrittlichen technologischen Komponenten ist die Maschine in der Lage, eine Vielzahl von Abscheideprozessen zu handhaben und eignet sich für Branchen wie Bioinformatik, Halbleiter und Luft- und Raumfahrt.
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