Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ EX-II Ti/TiN #293638914 zu verkaufen

TEL Triase + EX-II Ti/TiN ist ein Reaktor für den industriellen Einsatz. Es dient zur Durchführung chemischer Prozesse wie Oxidation, Reduktion, Ätzen, Abscheidung und Oberflächenbehandlungen. Es verfügt über eine 24 ″ Plasmakathodenkammer mit einer abgewinkelten Spiegelkonfiguration, die eine großflächige Gleichmäßigkeit von Abscheideraten und Dicke ermöglicht. Die Kammer besitzt gasdichte keramikisolierte Wände mit einem optionalen Keramikdeckel zur Wärmesteuerung und geringer Verdampfungsrate. Seine 6-Wege verstellbaren Gasregelventile können für insgesamt 25 Prozessgase mit Durchflusssteuerung für bis zu 32 Gase sorgen. Die dualunabhängigen HF-Generatoren mit bis zu 500W Leistung sorgen für reibungslose, wiederholbare Prozesse zur Gleichmäßigkeit von Abscheidung und Oberflächenbehandlung. Das Triase + EX-II verfügt über eine erweiterte Softwaresteuerung mit vorinstallierten Prozessrezepten, erweiterten Diagnosefunktionen und visueller Überwachung. Seine Geräte überwachen und unterstützen Anwendungen können Prozessstabilität und Substrat-Qualitätsmanagement bieten. Die Datenerfassungseinrichtung bietet Echtzeit-Prozessinformationen und Datenerfassungsfunktionen. Darüber hinaus verfügt das System über optionalen Fernzugriff und grafische Benutzeroberfläche mit Rezept-Builder-Funktionen. Der Triase + EX-II ist für den Betrieb unter Class-1 Reinraumbedingungen konzipiert und wird mit einer zertifizierten Gasmanagementeinheit, Sicherheitsverriegelungen und erweiterten Sicherheitsfunktionen ausgeliefert. Es wurde entwickelt, um die hohen Temperaturen für fortgeschrittene Prozesse aufrechtzuerhalten und kann in inerten Umgebungen bis zu 200 ° C und in Hochdruckumgebungen bis zu 5 Torr betrieben werden. Auch kann seine automatische Sperrkammerreinigungsmaschine mehrere Schichtdickenabscheidungen ohne Gefahr einer Kontamination durchführen. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON Triase + EX-II Ti/TiN ein industrieller Reaktor zur Durchführung fortschrittlicher chemischer Prozesse. Es verfügt über mehrere Gassteuerungssysteme, Dual-RF-Generatoren, erweiterte Softwaresteuerung und optionalen Fernzugriff. Es ist für den Einsatz in Class-1 Reinräumen konzipiert und ist mit Sicherheitsverriegelungen und fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um Sicherheit und Qualität zu gewährleisten.