Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ SPA #9252463 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Triase + SPA ist ein spezialisierter Reaktor für Nano- und Dünnschichtwachstum. Dieser Reaktor ist eines der TEL advanced Plasma Chemical Vapor Deposition (CVD) Systeme. Es bietet Filmabscheidungsraten bis zu 5nm/Minimum bei überlegener Qualität sowie Niedertemperatur-Nass-, Thermo- und Atmosphärenprozesse. Das patentierte TEL Triase + SPA-Design ermöglicht die Herstellung von nanostrukturierten Folien sowie ultraglatten Oberflächen mit extrem feinen Eigenschaften. TOKYO ELECTRON Triase + SPA ist mit einem einzigartigen planaren Magnetron-Design ausgestattet, das eine optimale Kontrolle des Plasmas ermöglicht. Dies ermöglicht eine effiziente und reproduzierbare Herstellung von reinen und defektdichten Folien. Darüber hinaus verfügt dieses Gerät auch über ein Thermal Source Kit, um das Substrat für verschiedene Abscheidungsanwendungen von 20 ° C bis 500 ° C aufzuheizen. Triase + SPA ist in der Lage, Substrate bis zu 8 Zoll Durchmesser zu handhaben und wird mit einem Aluminium-Hitzeschild geliefert, um eine gleichmäßige Probentemperatur zu gewährleisten und eine unbeabsichtigte Verdampfung der Probe zu verhindern. TEL/TOKYO ELECTRON Triase + SPA kann auch für Niedertemperatur-Nassreinigungsprozesse verwendet werden. Das System ist mit einer Zentrifuge, einem Vorratsbehälter und einer Verteilerfördereinheit für die kontrollierte Anwendung von Nassreinigungslösungen ausgestattet. Darüber hinaus ist die Maschine auch in der Lage, atmosphärische und trockene Verarbeitung, wie schnelle thermische Glühung (RTA), Oxidation, Nitridation und Phosphorierung von Substraten. TEL Triase + SPA ist ein effizientes und leistungsstarkes Werkzeug zur Herstellung von Nanostrukturen und dünnen Folien. Seine zuverlässige und reproduzierbare Prozessleistung sichert die Herstellung hochwertiger Folien. Darüber hinaus bieten die erweiterten Steuerungsfunktionen dieses Werkzeugs eine optimale Substrat- und Gasgleichmäßigkeit während des Asset-Betriebs. Dies macht den Reaktor ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Abscheide- und Glühanwendungen.