Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #293628645 zu verkaufen

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Triase + ist ein fortschrittlicher Halbleiter-fokussierter vertikaler Ofenreaktor, der von TEL/TOKYO ELECTRON, einem führenden Hersteller von Prozessanlagen, hergestellt wird. TEL Triase + ist ein vielseitiges Werkzeug, das sich ideal für die Produktion in Klein- und Großserien eignet und eine Reihe von Verbesserungen gegenüber früheren Modellen von vertikalen Ofenreaktoren beinhaltet. TOKYO ELECTRON Triase + beinhaltet mehrere einzigartige Technologien, wie ein verbessertes Graphitkammerdesign und eine verbesserte Wafertemperaturregelung durch Doppelzonentemperaturregelung, um die Temperaturgleichmäßigkeit zu maximieren. Das verbesserte Graphitkammerdesign erhöht die Gleichmäßigkeit von Gasfluss und Temperatur über die Waferoberfläche, wodurch die Ausbeute in weniger Zyklen erhöht wird. Die Doppelzonentemperaturregelung ermöglicht eine unabhängige Regelung sowohl der oberen als auch der unteren Kammertemperaturen, was zu einer verbesserten Gleichmäßigkeit und Dichte der Überschicht führt. Triase + verfügt auch über TEL proprietäre automatische Armplattenanpassung, die eine automatische Anpassung der Waferhöhe, Verringerung der Arbeitskosten und Erhöhung des Durchsatzes ermöglicht. Die adaptive Process Control (APC) -Ausrüstung von TEL/TOKYO ELECTRON Triase + bietet eine genaue und konsistente Prozesssteuerung. Mit APC können Anwender spezifische, auf ihre Rezeptanforderungen zugeschnittene Doppelkammer-Temperaturprofile festlegen. Das System ist in der Lage, automatisch Anpassungen an das Rezept vorzunehmen, um Schwankungen des Prozesses aufgrund von Faktoren wie thermischer Verzögerung oder verschiedenen Wafergrößen auszugleichen. TEL Triase + ist für eine einfache Bedienung konzipiert und bietet eine hohe Flexibilität in Bezug auf Prozessanwendungen. Durch den integrierten Rezepteditor können Benutzer benutzerdefinierte Rezepte für bestimmte Prozesse erstellen und bearbeiten, was zu einer Reduzierung der Zykluszeiten führt. TOKYO ELECTRON Triase + verfügt auch über erhöhte Sicherheitsmerkmale, wie eine aktive Kühleinheit und eine integrierte Ofenkammerabgasmaschine, die eine sicherere Arbeitsumgebung bietet. Insgesamt ist Triase + ein wertvolles Werkzeug für Halbleiterhersteller. Seine fortschrittliche Technologie und Innovationskraft machen es zu einer idealen Wahl für Klein- und Großserienprozesse. Seine flexible Prozesssteuerung und Rezept-Editor, sowie erhöhte Sicherheitsfunktionen machen es zu einem wertvollen Kapital für jede Anlage.