Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #9357066 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9357066
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
Metal CVD system, 12"
(3) Load ports, 12"
Loader module
(3) Load lock modules with cooler
Power Distribution Unit (PDU)
PF S2-0200 Safety
(2) Ti Process modules
PCOT Ti Chamber
Gas box
RF Generation unit
Trap interface
HP-Ti Kit
(2) TiN Process modules
PCOT TiN Chamber
Gas box
Trap interface
SFD Kit
PF Accessory:
Load port
UI Fixing at LM right side
EFEM and fan check monitor
TM, LLM Leak check port manual valve transfer navigation system
PF Outer cable
Edge grip blade
LM Fluorescent light
TM RGA Port without valve
(2) Ti PM Accessories:
Ti Leak check port
Ti PM Outer cable
Ti Gas box: ClF3, H2, NH3
(2) TiN PM Accessories:
TiN Leak check port
TiN High coverage process kit
TiN PM Outer cable
Utility accessory:
Utility interconnection gas female
FDC
Signal tower
CVCF
Rear step
Cable tray
2014 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Triase + ist ein hochmoderner Reaktor zur Herstellung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnfilm-Solarzellen. Der Reaktor liefert eine präzise, kontrollierte Umgebung, um branchenweit beste Ergebnisse zu erzielen. TEL Triase + verfügt über einen dreistufigen, mehrstufigen thermischen Prozess, der eine präzise Temperaturregelung und eine schnelle, gleichmäßige Erwärmung ermöglicht, die hochgleichmäßige und wiederholbare Prozesse ermöglicht. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über eine spezielle strahlformende Optik, die eine gleichmäßige Bestrahlung der Reaktionszone gewährleistet, und ein mehrwelliges Infrarot-Heizsystem, das dafür sorgt, dass die Temperatur des Substrats in den Substraten homogen ist. TOKYO ELECTRON Triase + ist mit einer Mehrfachquellen-Gaseinheit ausgestattet, die die gleichzeitige Einleitung mehrerer Gase ermöglicht, die eine präzisere Kontrolle der Reaktionsatmosphäre und die Schaffung einheitlicherer Prozesse ermöglicht. Es verfügt auch über eine aktive Sicherheitsmaschine, die zum Abschalten des Reaktors ausgelegt ist, wenn eine anormale Heiz- oder Kühlsituation auftritt. Der Reaktor bietet auch erweiterte Automatisierungsfunktionen für die Prozesssteuerung, sodass Rezepte an die Prozessanforderungen des Benutzers angepasst werden können. Das Tool verfügt zudem über eine intuitive, benutzerfreundliche Oberfläche zur einfachen Bedienung und Überwachung der Prozessparameter. Die Reaktionskammer von Triase + soll eine optimale Gleichmäßigkeit des hergestellten Dünnfilms gewährleisten. Es zeichnet sich durch ausgewogene Strömungsgeschwindigkeiten, niedrige Druckbereiche und optimierte Temperaturverteilungen in der Reaktionskammer aus. TEL/TOKYO ELECTRON Triase + bietet durch seine einzigartigen Designmerkmale zusätzliche Flexibilität und Zuverlässigkeit. TEL Triase + ist ein effektiver und effizienter Reaktor mit hohen Produktionsraten, kontrollierbaren Bedingungen und einheitlichen Prozessergebnissen. Insgesamt bietet der TOKYO ELECTRON Triase + Reaktor eine unglaublich präzise und benutzerfreundliche Ausstattung, um hochwertige Dünnschicht-Solarzellenmaterialien herzustellen. Der Reaktor ist für maximalen Wirkungsgrad in einer sehr kleinen Verpackung gebaut, wobei eine hohe Gleichmäßigkeit im Produktionsprozess und ein zuverlässiger Betrieb innerhalb der gewählten Prozessparameter erhalten bleibt.
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