Gebraucht TOSHIBA / NUFLARE EGV-28GX #9069032 zu verkaufen

TOSHIBA/NUFLARE EGV-28GX ist ein ultrahochenergetischer Elektronenstrahlreaktor, der für eine Vielzahl elektronischer Anwendungen entwickelt wurde. Mit 28 mm2 (28 cm2) aktiver Fläche und einem Ausgangsstrahl von bis zu 40 kV ist dieses Gerät ideal für den Einsatz mit einer breiten Palette von Mikroelektronik wie Photoresists, Anzeigetafeln und Waferbearbeitung. Sein energiereicher Elektronenstrahl schafft eine Plattform zum Ätzen, Reinigen, Abscheiden und Sintern durch plasmaunterstützte Prozesse. TOSHIBA EGV-28GX verwendet ein mehrstufiges laserbasiertes optisches Linienabtastsystem (OMS), das im Vergleich zu Ein- und Mehrstrahl-Abtastsystemen eine hervorragende Strahlstabilität aufweist. Die mehrstufige OMS-Einheit besteht aus zwei unabhängigen Steuersystemen, eines zur Steuerung von Laseremittern, das andere zur Steuerung des Elektronenstrahls. Darüber hinaus umfasst NUFLARE EGV-28GX mehrere Laser-Fokussiermodi und bietet die höchste Auflösung und Genauigkeit für das Ätzen oder Mustern kleiner Merkmale im Quadratmillimeter-Bereich. EGV-28GX verwendet eine Wolfram-Beschichtungsfolie, um eine einheitliche Energieverteilung und präzisere Energieabscheidungsprofile zu schaffen und die Prozessproduktion zu optimieren. Seine kapazitätsgesteuerte, ionenblockierende integrierte Elektronenkanone sorgt für einen konsistenten, aberrationsarmen Elektronenstrahl für verbesserte Prozessgleichförmigkeit. Darüber hinaus ermöglicht ein rückseitiger Gaskollektor komplette Spülätzprozesse, wodurch das Risiko einer ionischen Kontamination vermieden wird. Die fortschrittliche Computersteuerungsmaschine bietet eine große Flexibilität in Bezug auf die Auswahl von Prozessparametern, so dass Forscher die Freiheit haben, zwischen Eintakt- oder Pulsbetrieb und anderen verfügbaren Prozessparametern zu wählen. Die breite Palette an Parameter-Modifikatoren, die auf TOSHIBA/NUFLARE EGV-28GX verfügbar sind, kombiniert mit einer einfach zu bedienenden grafischen Oberfläche, machen es zur idealen Wahl für die Präzisionswaferbearbeitung. TOSHIBA EGV-28GX ist ein außergewöhnlich zuverlässiges Werkzeug, das eine einheitliche Verarbeitung bietet. Sein kleiner Fußdruck und seine Vielseitigkeit machen ihn zum perfekten Kapital für jedes Labor oder jede Forschungseinrichtung. Mit seiner Präzision und seinen fortschrittlichen Fähigkeiten wird NUFLARE EGV-28GX schnell zu einer führenden Wahl für Elektronenstrahl-Lithographie- und Verarbeitungsanwendungen.