Gebraucht ULVAC CC-200Z #293797505 zu verkaufen

ULVAC CC-200Z
Hersteller
ULVAC
Modell
CC-200Z
ID: 293797505
PECVD System.
ULVAC CC-200Z ist ein Hochleistungs-CVD-Reaktor, der für die Abscheidung verschiedener dünner Filme und Beschichtungen mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit und Kontrolle ausgelegt ist. Dieser fortschrittliche Reaktor wird von ULVAC Technologies, einem führenden Anbieter von Vakuum- und Dünnschichtabscheidungsanlagen für Industrie- und Forschungsanwendungen, hergestellt. Bei atmosphärischem Druck arbeitet CC-200Z mit einer horizontalen Warmwandreaktorkonfiguration, die eine ausgezeichnete Gasflussverteilung und Temperaturgleichförmigkeit über die Substratoberfläche gewährleistet. Die Reaktorkammer ist aus hochwertigem Edelstahl gefertigt und kann Substrate bis 200 mm Durchmesser aufnehmen und eignet sich somit für eine Vielzahl von Produktions- und Forschungsanforderungen. Eines der Hauptmerkmale des ULVAC CC-200Z Reaktors ist seine präzise Temperaturregeleinrichtung, die eine genaue Steuerung der Abscheideprozessparameter ermöglicht. Der Reaktor ist mit mehreren Temperaturzonen entlang der Länge des Reaktorrohres ausgestattet, die eine unabhängige Regelung der Substrattemperatur, Vorgastemperatur und Reaktionszonentemperatur ermöglichen. Dies ermöglicht die Abscheidung komplexer Mehrschichtstrukturen mit präziser Kontrolle der Folieneigenschaften und -dicke. CC-200Z ist für Produktionsanwendungen mit hohem Durchsatz konzipiert, mit einem schnellen Heiz- und Kühlsystem, das Zykluszeiten reduziert und die Gesamtproduktivität erhöht. Der Reaktor ist mit einer Hochleistungs-Gasfördereinheit ausgestattet, die einen stabilen und reproduzierbaren Gasstrom während des Abscheideprozesses gewährleistet und zur Gleichmäßigkeit und Qualität der abgeschiedenen Folien beiträgt. Der Reaktor ist zudem mit einer umfassenden Prozessüberwachungs- und Steuerungsmaschine ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung wichtiger Prozessparameter wie Gasdurchflussraten, Druck und Temperatur ermöglicht. Diese Daten können verwendet werden, um die Prozessbedingungen zu optimieren und eine gleichbleibende Filmqualität und Reproduzierbarkeit zu gewährleisten. ULVAC CC-200Z Reaktor ist mit einer breiten Palette von Vorläufergasen kompatibel, einschließlich metalorganischer Vorstufen, reaktiver Gase und Trägergase, wodurch eine Vielzahl von Dünnschichtmaterialien wie Oxide, Nitride und Metalle abgeschieden werden können. Der Reaktor kann einfach für verschiedene Abscheidungsprozesse konfiguriert werden, einschließlich thermischer CVD, plasmaverbesserter CVD und atomarer Schichtabscheidung, die Flexibilität für eine breite Palette von Anwendungen bietet. Insgesamt ist CC-200Z ein vielseitiger und zuverlässiger CVD-Reaktor, der leistungsstarke Abscheidungsmöglichkeiten für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen bietet. Mit seinem fortschrittlichen Temperaturkontrollwerkzeug, schnellen Zykluszeiten und umfassenden Prozessüberwachungsfunktionen ist ULVAC CC-200Z eine ideale Wahl für Forscher und Hersteller, die eine präzise Kontrolle und hohe Gleichmäßigkeit bei Dünnschichtabscheidungsprozessen suchen.
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