Gebraucht ULVAC CME-200J #293810220 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293810220
Weinlese: 2008
PECVD System
Chamber
Controller
(4) Gas boxes
(7) Pumps
Gas scrubber
Accessories
Manuals
Power supply
PC
2008 vintage.
ULVAC CME-200J ist ein industrieller Zweifrequenzplasmareaktor für Abscheidungsprozesse. Es ist mit zwei Frequenzen ausgestattet: 13,56 MHz (DC-Magnetron-Typ) und 2,45 GHz (Einzelfrequenz-Typ). Der Reaktor kann bis zu 9-Zoll-Wafersubstrate verarbeiten und kann sich leicht an verschiedene Anforderungen anpassen, von der Entwicklung von Materialien bis zur Herstellung auf Waferebene. Es ist mit einem Prozessgasmischer ausgestattet, der eine genaue Steuerung des Mischungsverhältnisses der Prozessgase ermöglicht und eine präzise Abscheidungssteuerung ermöglicht. Es verfügt auch über eine automatische Leistungssteuerung und einen Gasstromregler. Der Reaktor hat eine zylindrische Kammer mit einem Volumen von 11.2L und einem Elektrodendurchmesser von 200mm, wodurch er für eine Vielzahl von Ätz-, Abscheide- und Ascheanwendungen geeignet ist. Darüber hinaus ist es mit einem entfernten Anpassungsnetzwerk ausgestattet, das hilft, eine stabile Plasmaumgebung während des Betriebs aufrechtzuerhalten und gleichzeitig die Genauigkeit der Lastanpassung zu verbessern. Darüber hinaus ist der Reaktor emailliert, um eine undurchlässige, korrosionsbeständige Oberfläche zu gewährleisten, um eine Reaktion von Prozessgasen mit Kammeroberflächen zu verhindern. Der Reaktor verwendet eine Turbomolekularpumpe, um ein Vakuum in der Kammer zu erzeugen, die eine direkte Kontrolle über den Kammerdruck im Bereich von 1x10-3 bis 1x10-7 Pa. Es ist auch mit einem Druckausgleichsmechanismus ausgestattet, der den Basisdruck in der Kammer genau steuern kann. Weiterhin verwendet das System eine simultane Reaktionskontrolltechnik, die in die Prozesssteuerungssoftware integriert ist. Dies gewährleistet eine stabile und gleichbleibende Prozessleistung auch während der Chargenverarbeitung. Für die Sicherheit ist CME-200J mit verschiedenen Schutzfunktionen ausgestattet, wie Druckkontrolle und Sperrung, Schweigemodus und Vakuumpumpen, die durch Druckschalter überwacht werden. Es ist auch mit Sicherheitsmaßnahmen wie Sicherheitsverriegelungen für den Kammerzugang und Wärmeüberwachung ausgestattet. Darüber hinaus ist das System so konzipiert, dass es in einem Temperaturbereich von bis zu + 50 ° C in der Kammer arbeitet und weiter mit Abgaswärmereduzierungstechnologie ausgestattet ist, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Abschließend ist ULVAC CME-200J ein leistungsfähiger und zuverlässiger industrieller Plasmareaktor, der für Abscheideprozesse und die Verarbeitung mehrerer Wafersubstrate konzipiert ist. Es ist mit verschiedenen automatisierten Prozesssteuerungen zur präzisen Kontrolle des Abscheideprozesses ausgestattet und mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgelegt, um den sicheren Betrieb jederzeit zu gewährleisten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor