Gebraucht ULVAC CME-400ET #9266625 zu verkaufen

ULVAC CME-400ET ist ein Elektronenstrahl (EB) physikalische Dampfabscheidung (PVD) Abscheidungssystem für fortgeschrittene Halbleiter-Chip-Produktion entwickelt. CME-400ET besteht aus einer Vakuumkammer, einer EB-Pistole und einer horizontalen Stromversorgung. Die Vakuumkammer ist mit einer öffenbaren Tür ausgestattet und besteht aus Edelstahl. Mit der EB-Pistole werden Elektronenstrahlen erzeugt, die innerhalb der Vakuumkammer auf das Substrat implantiert werden. Die horizontale Stromversorgung erzeugt das notwendige elektrische Feld, um die Elektronenstrahlen zum Substrat hin zu beschleunigen. Die EB-Pistole von ULVAC CME-400ET ist mit angeschlossenen DLC-Folienisolatoren und Gitterelektroden ausgestattet, um Energieverlust zu verhindern. Unterschiedliche Spannungs- und Stromeinstellungen beeinflussen direkt die Stromdichte und Dichteverteilung des Strahls. Um wiederholbare Gleichmäßigkeit innerhalb der Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten, sind einstellbare Ablenkelektroden installiert, um genaue Winkel und Richtungen der Ablenkung zu ermöglichen. Zusätzliche Funktionen wie variabler Standoff und Verschluss ermöglichen die volle Kontrolle über die Eigenschaften des EB-Trägers. Die primäre Kammergröße von CME-400ET beträgt 400-450 Millimeter im Durchmesser und 200-250 Millimeter in der Höhe. Um eine konsistente Vakuumumgebung zu erhalten, wird das System mit einer zweistufigen Schrupppumpe und einem aktiven Gasentlüftungssystem ergänzt, das einen ultimativen Hintergrunddruck von 10-7 Torr ermöglicht. Magnetronsputterquellen können auch zur Metall- oder Nitridabscheidung zugesetzt werden. Die Elektronenstrahltechnologie des High-End-ULVAC CME-400ET bietet eine präzise und zuverlässige Dünnschichtentwicklung und ist damit ein wertvolles Werkzeug für die Halbleiterindustrie. Seine kompakte Bauweise, seine starke Vakuumfähigkeit und die Fähigkeit zur Divergenzkontrolle machen diesen Reaktor ideal für die Herstellung von Hochleistungs-integrierten Schaltungen. Mit seiner großartigen Leistung ist CME-400ET eine perfekte Wahl für die fortschrittliche Herstellung von Halbleiterchips.