Gebraucht ULVAC CME-400ET #9279188 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9279188
PECVD system
Load lock type
Vacuum pump: PMB + DRP
Substrate size: 310 × 410 Al Tray (dia.100 × 10, dia.200 × 2)
Power source: RF 1 kW (13.56 MHz)
Deposition material: SiN, SiO
Process gas: NH3, SiH4, N2, N2O, CF4, O2.
ULVAC CME-400ET ist ein Hochleistungssubstrat-Ectroplating-Reaktor, der für PVD/CVD, das Ätzen und die anderen Anwendungen entworfen ist. Dieser Reaktor ist in der Lage, Hochgeschwindigkeitsbetrieb, so dass es hochwertige Ablagerungen auf Trägersubstraten bis 200 mm Größe zu produzieren. Es ist mit einer Lamination Locator Ausrüstung ausgestattet, die eine genaue Ätzung und Musterübertragung während des Ätzprozesses gewährleistet. Die Geschwindigkeit und Genauigkeit dieses Systems ermöglicht die Abscheidung von dünnen und gleichmäßigen Folien. CME-400ET steuert die Substrat-Oberflächentemperatur mit einer Technologie zur Erhaltung des Tieftemperaturbogens. Dies beeinflusst sowohl die Prozessgeschwindigkeit als auch die Gleichmäßigkeit und Qualität der abgeschiedenen Folie. Die lichtbogenhaltende Technologie sorgt auch dafür, dass eine unerwünschte thermische Beanspruchung des Substrats vermieden wird, was insbesondere für fortgeschrittene Sensoren und hochgenaue elektronische Komponenten wichtig ist. ULVAC CME-400ET ist mit einer Hochvakuumkammer und einer innovativen Gasstrom-Managementeinheit ausgestattet, die eine überlegene Sauberkeit und präzise Kontrolle der Prozessgaszusammensetzung bietet. Dieser fortschrittliche Reaktor sorgt für überlegene Prozessleistung und konsistente Substratoberflächenqualitäten über einen weiten Temperaturbereich. Zur weiteren Erleichterung leistungsstarker nichtreaktiver Prozesse ist CME-400ET mit einer Kapazität-Spannungs-Regelmaschine ausgestattet. ULVAC CME-400ET ist mit einer universellen Fernbedienung ausgestattet, die eine einfache Überwachung, Datenerfassung und Parametereinstellung der Kammerbedingungen ermöglicht. Dieses Werkzeug ist ideal für Forscher, die aufgrund der Fähigkeit, Parameter wie Strom, Gasfluss, Kammertemperatur usw. einzustellen, eine genauere Kontrolle über ihren Beschichtungsprozess benötigen. Insgesamt ist CME-400ET ein zuverlässiger Hochleistungsreaktor mit der Flexibilität, den Anforderungen verschiedener Anwendungen und Substrate gerecht zu werden. Mit seiner überlegenen Geschwindigkeit und Konsistenz ist dieses leistungsfähige Gut in der Lage, dünne, sogar Filme auf einer Vielzahl von Substraten mit wenig bis keiner thermischen Beanspruchung abzuscheiden. Das intelligente Design ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessparameter, so dass Anwender die Bedingungen in Echtzeit anpassen und überwachen können, um die bestmöglichen Ergebnisse zu erzielen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor