Gebraucht ULVAC CPD-1210 #9055162 zu verkaufen

ULVAC CPD-1210 ist ein CVD-Reaktor, der für die Abscheidung von dünnen Schichten auf Halbleitersubstraten ausgelegt ist. CPD-1210 verfügt über einen vertikal montierten Reaktorkörper, der mit einem Quarzrohr, einem internen Zerstäuber und Heizelementen ausgestattet ist. Das Quarzrohr enthält einen Gaseinlaß, Gasauslaß und ist mit einem Wassermantel ausgekleidet, um die richtige Temperatur des Rohres zu halten. Der interne Zerstäuber sorgt für eine gleichmäßige Verteilung der Gasmoleküle auf die Halbleitersubstrate. ULVAC CPD-1210 ist ein zweistufiges Verfahren, wobei der erste Schritt die Vorbeschichtung des Substrats und der zweite Schritt die eigentliche Abscheidung umfasst. Während des Vorbeschichtungsschrittes wird ein Vorzersetzungsgas in das Quarzrohr eingeleitet, das auf eine Temperatur erhitzt wird, die für das zu behandelnde Substrat geeignet ist. Das Vorzersetzungsgas hilft, die Reaktantenmoleküle abzubauen, so dass sie sich gleichmäßiger auf dem Substrat abscheiden können. Das Substrat wird dann einem Abscheidungsgas ausgesetzt, das üblicherweise eine Kombination aus einem metallbildenden Gas und einem Gas ist, das das Material enthält, aus dem der Film abgeschieden wird. Das Abscheidegas weist eine höhere Temperatur als der Vorbeschichtungsschritt auf und sorgt mit dem Innenzerstäuber für eine gleichmäßige Abscheidung der Folie auf dem Substrat. CPD-1210 verfügt auch über zusätzliche Merkmale, darunter einen HF-Generator und eine unabhängige Backkammer, die es ermöglicht, sowohl Vorbeschichtungs- als auch Abscheidegase in derselben Reaktorkammer einzusetzen. ULVAC CPD-1210 hat eine einzige Quelle, Niederdruckkammer, ermöglicht die Abscheidung von verschiedenen Arten von Material, wie Metalle, Metalloxide, Dielektrika und Halbleiter. Die Kammer kann eine maximale Temperatur von 1200 ° C erreichen und bietet die Flexibilität, Reaktionsgeschwindigkeit und Folienqualität zu steuern und zu erhöhen. Insgesamt ist CPD-1210 ein idealer CVD-Reaktor für die Dünnschichtabscheidung, der Gleichmäßigkeit, hohe Temperatursteuerung und Flexibilität für die Abscheidung verschiedener Materialien bietet. ULVAC CPD-1210 ist ein effektives und vielseitiges Werkzeug zur Herstellung hochwertiger Dünnschichten in kurzer Zeit.