Gebraucht ULVAC DWNT #9055163 zu verkaufen

ULVAC DWNT ist ein Hochvakuum-Diffusionsreaktor vom thermischen CVD-Typ, der in der Halbleiterbauelementproduktion weit verbreitet ist. Der Reaktor besteht aus einem Quarzofen, zwei getrennten Abscheidekammern und einer Diffusionskammer, die alle in einem System miteinander verbunden sind. Das Substrat kann leicht von der Außenseite des Quarzofens gewechselt werden, während die Temperatur des Ofens variiert und feinjustiert werden kann. Die Diffusionskammer von DWNT enthält drei Zonen; die Bodenzone dient der Quellgaseinleitung und ist mit einem Auslassventil verbunden. Die obere Zone ist, wo die Wafer beladen werden, mit Hochtemperaturheizungen unter den Wafern installiert. Schließlich befindet sich in der mittleren Zone der Duschkopf, in dem das Reaktionsgas eingesetzt wird, mit einem Hochgeschwindigkeitsgebläse, das Turbulenzen für eine effiziente Durchmischung der Gase erzeugt. Das Reaktionsgas wird aus dem Duschkopf von ULVAC DWNT eingespritzt und diffundiert vor Erreichen der Wafer durch die Diffusionskammer. Die Diffusion des Reaktionsgases erhöht die Gleichmäßigkeit der Folien und sorgt dafür, dass die Folien einwandfrei auf dem Substrat haften. Die Reaktionskammer kann mit einer Vielzahl von Prozessgasen umgehen, darunter SiH4, PH3 und GeH4. DWNT-Reaktor kann einen Druck zwischen 2X10-4 und 8x10-4 Pa. halten. Es bietet auch eine hohe Temperatur Gleichmäßigkeit in der gesamten Kammer, eine Genauigkeit von ± 1-2 ° C über einen großen Bereich des Substrats zu erreichen. Die Temperatur der Kammer kann je nach Substrat zwischen 350 ° C und 900 ° C liegen. ULVAC DWNT Reaktor ist hochgenau, nicht nur in seiner Temperatur Gleichmäßigkeit, sondern auch mit der Kontrolle der Abscheidungsrate und Gleichmäßigkeit. Es ist in der Lage, Abscheideraten von bis zu 7000 nm/h mit Präzision von ± 2 nm zu erzeugen. Dies macht es eine große Wahl für die Herstellung von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen. Insgesamt ist DWNT ein effektiver und zuverlässiger CVD-Reaktor vom Diffusionstyp, der in der Lage ist, hochwertige Filme mit großer Gleichmäßigkeit in einer Vielzahl von Prozessgasumgebungen herzustellen. Seine hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit machen es zu einer großen Wahl für jede Produktionsstätte.