Gebraucht ULVAC EBS-10A #9053858 zu verkaufen

ULVAC EBS-10A
Hersteller
ULVAC
Modell
EBS-10A
ID: 9053858
Deposition system, batch type.
ULVAC EBS-10A ist eine Sputteranlage, die für thin‐film Abscheidung geeignet ist. Es arbeitet nach einem reaktiven Sputterverfahren, wobei ein Targetmaterial in ein mit einer Vakuumpumpe erzeugtes Vakuum eingebracht wird. Das Target ist mit einer Hochspannungsquelle verbunden, wodurch das Zielmaterial beim Anlegen der Spannung sputtert. EBS-10A ist ein einfach zu bedienendes System mit einem automatisierten, selbst entworfenen Bedienfeld, mit dem Benutzer Zeit sparen und die Ausführung von Experimenten verbessern können. Dies geschieht durch die automatisierten, hochrangigen Befehle und Selbstdiagnosefunktionen an der Einheit. Die Benutzeroberfläche verfügt über ein intuitives grafisches Design und einfache Navigationsbefehle. ULVAC EBS-10A hat eine große effektive Abscheidungsfläche, die dünne Filme bis zu 13mm auf Substraten herstellen kann. Es verwendet eine Drei-Kanonen-parallele DC-DC-reaktive Sputtermaschine, die eine optimale Kompatibilität mit 3D-structures ermöglicht. EBS-10A ist ein robustes Werkzeug mit einem kompakten, starken Design für mehr Stabilität. Dies gewährleistet eine zuverlässige und wiederholbare Dünnschichtabscheidung über lange Zeiträume. Die Anlage kann auch hochwertige Ablagerungen komplexer Dünnschichten ohne kostengünstige Verbrauchsmaterialien bereitstellen. ULVAC EBS-10A verwendet eine Off-Axis-Sputterkammer zur Hochgeschwindigkeitsabscheidung. Die Kammer ist mit einem Massenstromregler und einem Zirkulationsplenummodell ausgestattet, das eine breite Palette von Sputtergasgemischen und -geschwindigkeiten sowie eine große Substratkapazität ermöglicht. EBS-10A verfügt über eine Vielzahl einstellbarer Parameter für eine optimale Dünnschichtabscheidung. Die Anlage verfügt über einen Prozessbereich mit einstellbaren Drücken und Temperaturen, die eine Optimierung aller Parameter für gewünschte Ergebnisse ermöglichen. Zusätzlich kann der Benutzer Sputtergasart, Abscheidungsursprung, Leistungspegel und Dicke anpassen. ULVAC EBS-10A ist ein leistungsfähiges und vielseitiges System für viele Arten von Dünnschichtabscheidungsaufgaben. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Anwender, die wartungsarmen Betrieb benötigen und eine breite Palette von Steuerparametern haben wollen, um optimale und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen.
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