Gebraucht ULVAC EBS-10A #9055245 zu verkaufen

ULVAC EBS-10A ist ein niederenergetischer Plasmareaktor, der für hochpräzises Substratätzen und Filmabscheidung ausgelegt ist. Es verwendet ein ionisiertes Gas (Plasma), um eine starke chemische Reaktion auf einem Substrat zu erzeugen. Dies ermöglicht die Bildung komplizierter elektronischer Strukturen mit feinen Linienbreiten und hohen wiederholbaren Prozessen. EBS-10A besteht aus Hochfrequenzstromquelle, Regler, Kammer und Prozessgasquelle. Die Kammer ist eine Edelstahl, vakuumdichte Umgebung, die in der Lage ist, atmosphärische Drücke bis zu 0.1Torr zu handhaben. Es ist mit einem großen 6,5-Zoll-Durchmesser-Viewport ausgestattet, um den Prozess auf der Substratoberfläche zu überwachen. Der Reaktor weist außerdem eine HF-Antenne auf, die zur Übertragung der Hochfrequenzleistung in die Kammer dient. Die Stromquelle ist in der Lage, der Kammer eine HF-Leistung von 0.2-800W zuzuführen, die eine Vielzahl von Prozessen wie Ätzen, Sputterabscheidung, thermische Verdampfung und Elektronenstrahlabscheidung ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht der Regler eine sehr genaue Steuerung der Plasmaparameter und Prozessgrößen einschließlich Kammerdruck, Ätzzeit und HF-Leistung. ULVAC EBS-10A ist zudem mit einer Gasquelleneinheit ausgestattet, die Prozess- und Trägergas mit hochgenauen Anteilen und Durchflussraten versorgen kann. Das Prozessgas besteht aus einem Inertgas wie Argon, das zum Ätzen und anderen chemischen Reaktionen verwendet wird. Das Trägergas ist üblicherweise ein Sauerstoff- (O2) oder Stickstoff- (N2) -Gemisch und dient zur Steuerung der Plasmadichte und der Oberflächenaktivierung. Abschließend ist EBS-10A ein vielseitiger und hochpräziser Reaktor, der für eine breite Palette von Substratverarbeitung entwickelt wurde, einschließlich Ätzen, Sputterabscheidung und Filmabscheidung. Zu den Merkmalen gehören eine einstellbare Druckkammer, eine leistungsstarke HF-Quelle, eine genaue Gasquelleneinheit und eine Steuerung zur präzisen Prozesssteuerung. Der Plasmareaktor bietet eine hervorragende Kontrolle über sehr feine Merkmalsgrößen und eine hohe Wiederholbarkeit, was ihn zu einer idealen Wahl für die Substratverarbeitung macht.