Gebraucht ULVAC EBX-10D #293621576 zu verkaufen

ULVAC EBX-10D
Hersteller
ULVAC
Modell
EBX-10D
ID: 293621576
Thermal evaporator Diffusion pump.
ULVAC EBX-10D ist ein zweistufiges Turbomolekularvakuumpumpensystem mit Planetengetriebe, das eine Hochvakuumumumgebung bei der Verarbeitung von Reaktorsubstraten schafft. EBX-10D kombiniert die überlegene Leistung von Planetengetrieben mit Turbomolekularpumpen und ist damit eine ideale Wahl für anspruchsvolle Vakuumprozesse in der Halbleiter-, optischen Platten- und Display-Industrie. ULVAC EBX-10D verwendet eine zweistufige Drosselklappenturbopumpe, die eine Vakuumpumpgeschwindigkeit von 3,2 x 10-2 Pa Liter/s ermöglicht, was zu einem Enddruck von 5 x 10-7 Pa TM (Torr) führt. Dies geschieht durch die Einführung eines variablen Reglers, der EBX-10D zu den schnellsten unter anderen Turbomolekularpumpen seiner Klasse macht. Der variable Regler passt die maximale Drehzahl der Turbopumpe von 400 r/min bis 1200 r/min an, was eine überlegene Flexibilität und Leistung ermöglicht. Außerdem wird ULVAC EBX-10D mit einem planetarischen Hochleistungsuntersetzungsgetriebe ausgestattet, das dazu fähig ist, die Drehmomentschwankung am Dreheinlasshafen der Turbopumpe zu unterdrücken, um Vibrieren zu reduzieren. Diese Funktion gewährleistet einen stabilen Betrieb, auch wenn die Motordrehzahl schnell verändert wird. Darüber hinaus reduziert das Planetengetriebe das Geräusch des Motors, was einen leisen Betrieb und eine Verringerung der Belastung des Innenraums der Kammer ermöglicht. Darüber hinaus bietet EBX-10D eine Vielzahl von Funktionen, die den Betrieb und die Wartung so einfach wie möglich gestalten. Die interne Lüfterbaugruppe kann leicht für die Reinigung entfernt werden, und die Abgastemperatur wird überwacht, um Überhitzung zu verhindern. Der Schmierölspeicher kann leicht zugegriffen und ergänzt werden, und der Controller überwacht sowohl die Außen- als auch die Innentemperatur der Pumpe. Darüber hinaus verfügt ULVAC EBX-10D über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie eine LCD-Einheit (Liquid Crystal Display) und ein Sicherheitsventil, um die Sicherheit des Benutzers jederzeit zu gewährleisten. Insgesamt ist EBX-10D ein außergewöhnliches Reaktorsystem, das hervorragende Leistung und Wartungsfreundlichkeit bietet. Es ist ideal für den Umgang mit anspruchsvollen Vakuumprozessen, und seine beeindruckende Geschwindigkeit und geringe Vibrationsfähigkeit gewährleisten einen zuverlässigen und konsistenten Betrieb. Darüber hinaus machen seine sinnvollen Sicherheitsmaßnahmen es zu einer Top-of-the-Line-Wahl für jedes Reaktorsystem.
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