Gebraucht ULVAC EBX-10D #9102139 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
EBX-10D
ID: 9102139
Deposition system.
ULVAC EBX-10D ist eine multifunktionale EB-Plasmaquelle der dritten Generation mit einem Hochleistungs-Plasmaverfahren und eignet sich gut für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen. Dieser Reaktor ist in der Lage, sehr Hochtemperaturplasma zu erzeugen. Es wird durch eine Kombination aus Elektronenstrahl (EB) und einer extern zugeführten Elektronen mit einer Energie von 10 MeV angetrieben. EBX-10D verfügt über eine Niederspannungsversorgung, die es ermöglicht, eine sehr hohe Elektronenstrahl-Beschleunigungsleistung zu liefern. Neben dem Hochleistungs-Plasmaprozess ermöglicht ULVAC EBX-10D es Anwendern, eine Vielzahl von Prozessen wie Sputtern, Ätzen, Schichten und die Herstellung reaktiver Ionenaustauscharten durchzuführen. Darüber hinaus bietet EBX-10D eine sehr breite Palette von Steuerungseinstellungen, die eine prozessbasierte Anpassbarkeit für eine bessere Prozesssteuerung und -optimierung ermöglicht. Es ist mit Blick auf die Sicherheit entworfen, da es eine Notverriegelung System und Überspannungsschutz verfügt. ULVAC EBX-10D ist in der Lage, Temperaturen von bis zu 15.000 ° C innerhalb seiner Hauptkammer zu erreichen. Es ist an der Außenseite der Kammer mit einem Quarzfenster ausgestattet, das einen kontinuierlichen Blick auf die Plasmabildung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt dieser Reaktor über ein Umweltkontrollsystem, das es erleichtert, die Integrität der Prozessumgebung zu erhalten. EBX-10D ist durch den modularen Aufbau sehr anpassungsfähig, was eine Vielzahl von austauschbaren Komponenten ermöglicht, die daran montiert werden können. Der Reaktor ist mit einem Rotationsmotor ausgestattet, der es ermöglicht, Substrate beim Sputtern oder Ätzen zu drehen, um eine gleichmäßigere Abscheidung zu erzielen. Darüber hinaus verfügt ULVAC EBX-10D über ein ultra-hohes Durchsatzdesign, das eine sehr hohe Tragfähigkeit ermöglicht, so dass es optimal für den Einsatz in Reaktoren geeignet ist, große Chargen von Substraten zu handhaben. EBX-10D ist kostengünstig und für industrielle Anwendungen attraktiv. Es ist sicher, zuverlässig und sehr zuverlässig, so dass es die perfekte Wahl für eine breite Palette von industriellen Anforderungen. Es ist nicht nur stark in der Lage, eine Vielzahl von Prozessen zu verwalten, sondern bietet Anwendern auch ein hohes Maß an Kontrolle, die eine Anpassbarkeit ermöglicht, was in industriellen Prozessen sehr wichtig ist.
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