Gebraucht ULVAC EBX-8C #9053841 zu verkaufen

ULVAC EBX-8C ist ein Niederdruck-Elektronenstrahlreaktor (EB), der für spezifische industrielle Anwendungen entwickelt wurde. Es ist ein kompaktes, in-line, medium-powered, EB-basiertes Beschichtungssystem, das präzise und hochpräzise Dünnschichtabscheidung bietet. EBX-8C ist ein Hochleistungsreaktor mit überlegenen Eigenschaften wie einem stark stromlinienförmigen Design, geringem Energieverbrauch und einem geringen Platzbedarf. ULVAC- EBX-8C können sowohl bei niedrigem als auch bei hohem Vakuumdruck mit einer Prozesskammer arbeiten, die einen Arbeitsvakuumdruck von 10⁻¯6 bis 5.0E-4 Pa. erreichen kann. Dies gewährleistet eine präzise Kontrolle der Abscheidungsparameter wie Gleichmäßigkeit und Schichtdicke. Der Reaktor weist auch einen extrem niedrigen Basisdruck auf, der unter 10⁻¯7 Pa. liegt. Dies ermöglicht geringe Restdruckstörungen in der Prozesskammer und eine nahezu gleiche Partikelbahn. EBX-8C verwendet eine EB-Quelle, die mit einer Geschützanordnung verbunden ist, die in eine spezielle Kammer eingespeist wird, die mit dem gewünschten Arbeitsgas gefüllt ist. Die EB-Quelle besteht aus einem Filament, Regelgittern, Beschleunigungsabstand und Kollektorelektroden. Die EB-Quelle kann eingestellt werden, um die notwendigen Spannungs- und Energieniveaus für eine optimale Filmabscheidung bereitzustellen. Der Beschleunigungsabstand ist einstellbar, was eine Feinsteuerung der Strahlenergie ermöglicht. Innerhalb der Prozesskammer wird der EB-Strahl mit optischen Komponenten wie einer Fokussierlinse und einem Revolver auf das Werkstück gerichtet. Das Werkstück wird auf eine drehbare Substratstufe gelegt und mit einem Vakuumspannsystem gehalten. Die Prallprozesskammer gewährleistet eine hohe Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Folie auch bei schwierigen Geometrien mit hohen Aspektverhältnissen. ULVAC EBX-8C verfügt über einen vollautomatischen Prozessbetrieb und eine fortschrittliche Steuerelektronik. Ein interaktiver programmierbarer Logikcontroller (SPS) bietet vier verschiedene Betriebsarten für Beschleunigung und Gesamtbeschleunigungszeit. Es bietet auch mehrere Sicherheitskontrollen, einschließlich Temperatur, Gegendruck, Kammerdruck und andere. EBX-8C hat eine Leistung von 8 kW und kann innerhalb eines Temperaturbereichs von 0 bis 380C arbeiten. ULVAC EBX-8C verfügt über eine breite Palette an Zubehör und Ersatzteilen wie zusätzliche Linsen, Werkstückhalter, Schutzschilde, Kühlsysteme, Zielstufen und andere. Dies gewährleistet einen zuverlässigen und effizienten Betrieb und Wartung von EBX-8C.