Gebraucht ULVAC EBX-8C #9397455 zu verkaufen
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ID: 9397455
Weinlese: 1982
Vapor deposition system
Vacuum chamber: (W x D x H): 500 x 500 x 650
Material: SUS303
Film thickness controller: CRTM9000
Cooling water required device: 8 L/min
Evaporation source: 10 L/min
Air pressure: 4~7 Kg/cm2
Power supply: 11 kVA, 3 Phase, 50/60 Hz, 55 A, 200 VAC
1982 vintage.
ULVAC EBX-8C ist eine einseitige, batchverarbeitende, hochreaktive Ausrüstung für Anwendungen in der Dünnschichtindustrie. Dieser Reaktor wird für eine Vielzahl von Verfahren wie Bindung, Sputtern, Dünnschichtbildung, chemische Dampfabscheidung (CVD) und plasmaverstärktes CVD (PECVD) eingesetzt. Die einzigartige grafische Benutzeroberfläche des Systems, UwinTM, ermöglicht eine schnelle und einfache Vorschau von Prozessparametern. EBX-8C verfügt über eine mikroprozessorgesteuerte Reaktionskammer mit 300 mm (1,2 ") Durchmesser und einer 300 mm offenen Elektroschlacke-Probenkammer. Die mehreren Prozesskammern des Geräts ermöglichen eine effiziente und durchsatzstarke Verarbeitung und bieten eine hervorragende Umweltverträglichkeit. ULVAC EBX-8Cs Multi-Zone-Temperaturmanagementmaschine sorgt für hochwertige Dünnschichten unter eng stabilen Prozessparametern. Ein abstimmbarer frequenzgesteuerter 1300 W Gleichstrom-HF-Generator ist ebenfalls im EBX enthalten und ermöglicht bis zu 300MHz Abstimmbereich. EBX-8C verfügt über ein hochgenaues Gaszufuhrgasanalysetool mit Sauerstoff und Chlornitrat, das auf dem LCD-Display schnell überwacht wird. ULVAC original optionale Asset-Controller bietet eine breite Palette von anspruchsvollen Steuerungsfunktionen, wie Luft-und Wasser-Interlocks, Reaktant-Gas-Durchflussmessung und Taupunktregelung, sowie Vakuum und Druckregelung. Das EBX ist weiter mit einer evakuierten Transferkammer und einem Lastschloßmodell ausgestattet. Dies sorgt für eine staubfreie Umgebung und verhindert die Exposition der Reaktionskammer gegenüber Außenumgebungen, was das EBX zu einer idealen Wahl für eine defektarme Verarbeitung macht. ULVAC EBX-8C wurde auch EMV-Tests auf Kompatibilität mit 7 Hauptstandards unterzogen und ist für eine Reihe von CE-Anwendungen zertifiziert, so dass es ideal für sichere industrielle Anwendungen ist. Um Sicherheit zu gewährleisten, teilt EBX-8C viele Funktionen mit ULVAC-Serie von anderen Batch-Sputtersystemen. Dazu gehören die Luft- und Wasserverriegelungssysteme, Notabschalter und Vakuumverriegelungen. Die 20 programmierbare Funktionssteuerung von ULVAC EBX-8C ermöglicht es Benutzern, die Parameter des Reaktors weiter an ihre Prozessanforderungen anzupassen. Abschließend ist EBX-8C ein hochproduktives und vielseitiges reaktives System, das für die Verarbeitung von hochpräzisen Dünnschichtprozessen konzipiert ist. Seine einzigartige grafische Benutzeroberfläche, gepaart mit einer Reihe fortschrittlicher Sicherheitsfunktionen und anspruchsvollen Prozessleitsystemen, macht es zu einer idealen Lösung für eine Reihe von Batch-Verarbeitungsanwendungen.
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