Gebraucht ULVAC ED-60000-D14 #9053842 zu verkaufen

ULVAC ED-60000-D14 ist ein fortschrittlicher Ätzreaktor für eine Reihe von Forschungsanwendungen. Es verfügt über eine Prozesskammer mit einem 6-Zoll-Innendurchmesser, die in der Lage ist, eine breite Palette von Substraten bis zu einer Temperatur von 1400 ° C zu verarbeiten. Der Reaktor verfügt zusätzlich über ein modernes Druckregelgerät und eine Hochgeschwindigkeits-Gasdusche, um eine präzise und konsistente Ätzprozesssteuerung zu gewährleisten. ED-60000-D14 wurde entwickelt, um eine hervorragende Leistung bei Ätzprozessen für eine Reihe von Substraten zu bieten, einschließlich Si, SiO2, GaN, GaAs und anderen Materialien. Es ist in der Lage, Materialien bis zu einer Temperatur von 1350 ° C zu verarbeiten, so dass wiederholbares Ätzen mit höchster Genauigkeit möglich ist. Der Reaktor verfügt auch über ULVAC einzigartige Gasdusche, die schnell die gewünschte Gaszusammensetzung in der Prozesskammer gewährleistet. Dies ermöglicht eine bessere Kontrolle des Ätzprozesses und eine verbesserte Batch-to-Batch-Gleichmäßigkeit. ULVAC ED-60000-D14 verfügt über eine 1.400-Liter-Prozesskammer und arbeitet bei maximal reduzierten Drücken von 15 Torr. Dies ermöglicht kürzere Zykluszeiten unter Beibehaltung der Ätzgenauigkeit. Zusätzlich sorgt die Hochgeschwindigkeits-Gasdusche für eine gleichmäßige, stabile Gasumgebung zur präzisen Ätzsteuerung. Die rechnergesteuerte Druckregelung ermöglicht gleichmäßige und stabile Ätzraten für die qualitativ hochwertige Herstellung komplexer Muster und komplexer Strukturen. Zur Verringerung der Kammerwandtemperatur ist ED-60000-D14 mit einem verbesserten Isoliermantel ausgeführt. Diese Funktion trägt dazu bei, den thermischen Verlust durch Ätzprozesse zu minimieren. Es bietet zudem eine verbesserte Prozesskammerhomogenität und Regelbarkeit sowie ein verbessertes Prozessfenster. Die integrierte HeTCA-Kühlfalle verbessert die Leistung der Gaseinheit und bietet eine saubere Gasumgebung von 20 mTorr oder weniger. ULVAC ED-60000-D14 bietet auch eine fortschrittliche Vakuumpumpenmaschine für lange Lebensdauer und niedrige Betriebskosten. Das Werkzeug verwendet eine Membranpumpe, eine molekulare Schlepppumpe und eine Booster-Turbopumpe, um einen Basisdruck von 20 mTorr oder weniger zu erreichen, wodurch präzise Gassteuerungs- und Ätzbedingungen möglich sind. In puncto Sicherheit verfügt ED-60000-D14 über eine fortschrittliche Sicherheitsanlage. Es verfügt über mehrere Fehlererkennungssysteme, die zur Erkennung von Prozesskammerproblemen wie Abgasanomalien, Lichtbogen- und Heizprozeduranomalien ausgelegt sind. Das Modell führt auch eine automatische Umgebungsüberwachung und Fehlerblockierung durch. Darüber hinaus verfügt ULVAC ED-60000-D14 über eine flüssige Stickstoffkühlung, die durch Vermeidung anomaler Kammertemperaturen einen sicheren Betrieb gewährleistet. Abschließend ist ED-60000-D14 ein fortschrittlicher Ätzreaktor für Forschungsanwendungen. Es verfügt über eine 6-Zoll-Prozesskammer und ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten bis zu einer Temperatur von 1400 ° C zu verarbeiten. ULVAC ED-60000-D14 zudem mit einer Hochgeschwindigkeits-Gasdusche und einer Druckregelung zur präzisen Ätzprozesssteuerung ausgestattet. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie eine Flüssigstickstoff-Kühleinheit und eine Überwachungsmaschine zur Erkennung ungewöhnlicher Kammertemperaturen, Lichtbogen- und Gasleckagen. Schließlich umfasst ED-60000-D14 auch eine Membranpumpe, eine molekulare Schlepppumpe und eine Booster-Turbopumpe für eine effektive Vakuumwartung.