Gebraucht ULVAC Entron-EX2 W300 #9314077 zu verkaufen

ULVAC Entron-EX2 W300 ist ein CVD-Reaktor für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Der Reaktor ist mit einem hocheffizienten, konstanten, niedrigen NOx-Zweizonenbrenner ausgestattet, der eine präzise Kontrolle der Prozessbedingungen ermöglicht. Entron-EX2 W300 ist mit einer Reihe von Merkmalen ausgestattet, darunter interne und externe Gasmischung, eine integrierte Mannigfaltigkeit, langlebige Graphit-Empfänger und eine vielseitige Steuerung. Diese Eigenschaften bieten Anwendern eine hervorragende Stabilität und Reproduzierbarkeit, was sowohl die Abscheidung von hochwertigen Folien als auch von Core-Shell- und Multi-Layer-Abscheidungsprozessen ermöglicht. ULVAC Entron-EX2 W300 ermöglicht es Anwendern, einfach eine Vielzahl von gewünschten Ablagerungsrezepten zu erstellen. Entron-EX2 W300 verwendet eine „chargenartige“ Kammer, die bis zu vier Substrate gleichzeitig aufnehmen kann. Die Innenabmessungen der Kammer messen 915mm (Breite) x545mm (Tiefe) x 520mm Höhe (inklusive Flansch) und verfügen über eine kippbare Suszeptorplatte von 915mm x 545mm zur präzisen Filmabscheidung. Die Suszeptorplatte ist zur gleichmäßigen Wärmeverteilung über das gesamte Substrat ausgelegt, wodurch eine gleichmäßige Filmabscheidung ohne Richtungseinflüsse entsteht. Der Hohlraum weist außerdem eine niederprofilige Quarzkuppel und einen mittig angebrachten Gaseinlaß und -auslaß auf, die die Streuung um den Wafer während der Verarbeitung verringern. Darüber hinaus hat ULVAC Entron-EX2 W300 Reaktor die Möglichkeit, mit verschiedenen Lösungen konfiguriert zu werden, die die Abscheideprozesse effizient optimieren können. So ist Entron-EX2 W300 mit einem Coat-Monitor-COG-System von ULVAC ausgestattet, das sowohl dünne als auch dicke Filme genau messen und Anwendern dabei helfen kann, eine konsistente und wiederholbare Abscheidung über ihre Substrate zu erreichen. Darüber hinaus kann ULVAC Entron-EX2 W300 mit einem gekühlten Heckverschluss ausgestattet werden, der Anwendern hilft, niedrigere Betriebstemperaturen und höhere Abscheideerträge zu erzielen. Insgesamt ist Entron-EX2 W300 ein Hochleistungs-CVD-Reaktor, der Anwendern dabei helfen kann, eine Reihe von Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelemente durchzuführen. Durch den Einsatz erweiterter ULVAC-Funktionen sowie benutzerfreundlicher Sicherheitsmaßnahmen können Benutzer die Prozesseffizienz effektiv maximieren und qualitativ hochwertige Ergebnisse sicherstellen.