Gebraucht ULVAC EX-550-C10 #9078375 zu verkaufen

ULVAC EX-550-C10 ist ein Hochleistungs-Plasma-verbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) Reaktor entwickelt, um eine Reihe von Materialien für eine Reihe von Anwendungen abzuscheiden. Der Reaktor verfügt über eine einfache, langlebige Edelstahlkammer und eine vollständige Computerautomatisierung für eine einfache Bedienung, die hochwertige, wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Dieser Reaktor ist mit einer hochmodernen Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR) -Plume-Hülle für maximale Gleichmäßigkeit, verbesserte Verarbeitungsgeschwindigkeit und verbesserte Schichtqualität ausgestattet. Die einzigartige ECR-Konfiguration ermöglicht eine sehr homogene Plasmaquelle und eine sehr kontrollierte energetische Umgebung, was zu einer stabilen Keimbildung von Materialien und einer besseren Retention der Materialeigenschaften führt. Das System kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 5,7 "bei einer maximalen Substrattemperatur von 450 ° C verarbeiten. ULVAC EX 550-C10 verfügt über einen umfassenden Satz automatisierter Plasma-Diagnosefunktionen, einschließlich Echtzeit-Plasma-Bildgebung und einem On-Board-System für optische Emissionsspektrometrie (OES). Dies ermöglicht eine umfassende Überwachung der Plasmabedingungen, um die Prozessausbeuten zu maximieren und die Schichtqualität zu verbessern. Darüber hinaus können GASBOX variable Niveaus der rückseitigen Gaseinleitung die Abscheideraten weiter optimieren. Weitere Merkmale dieses Reaktors sind ein Festkörpergenerator mit fortschrittlicher Impulssteuerung, automatisierte Kammerreinigung und ein Filmdickenmonitor. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung von Substratheizung und -kühlung, Substratbewegung und sorgt für wiederholbare Prozesse. Insgesamt bietet EX-550-C10 eine kostengünstige Lösung zum Abscheiden hochwertiger Folien für zahlreiche Anwendungen.