Gebraucht ULVAC EX-650-C16 #9053847 zu verkaufen

ULVAC EX-650-C16 ist ein High-End-Radiofrequenz-Gerät (RF) für reaktive Ionenätzer (RIE) zur Verwendung bei der Herstellung elektronischer Komponenten. Dieses System nutzt mehrere technologische Fortschritte, um ein präzises und genaues Ätzen von Materialien mit beispiellosem Durchsatz zu ermöglichen. EX-650-C16 Einheit besteht aus einer Hauptreaktorkammer, einer oberen Vorkammer, einer integrierten Probenlademaschine, einem computergesteuerten Gaseinspritzwerkzeug und einer Plasmakammer nach der Behandlung. Die Hauptreaktorkammer ist mit zwei 16-Zoll-Polen und einem 8-Zoll-Pol mit 2KW HF-Netzteilen ausgestattet, die bis zu 2,3 Torr-Vakuumdruck aufweisen können. Dies ermöglicht eine extrem hohe Ätzrate von bis zu 0,1 um/min. Es verwendet auch ein Turbulenzoptimierungs-Asset, das auf einem Vier-Quadranten-Design basiert und eine verbesserte Gleichmäßigkeit der Ätzmusterbildung ermöglicht. Die obere Vorkammer verwendet ein zweistufiges Plasmaoptimierungsmodell mit drei Elektrodenstiften, um ein präzises, hochfrequentes Ätzen von empfindlichen Materialien und Substraten zu ermöglichen, und es verfügt über eine noch höhere Ätzrate als die der Hauptreaktorkammer. Die integrierte Probenladeausrüstung erleichtert den Probenwechsel mit automatisierten Abstands-, Sicherungs- und Orientierungsregelungsmöglichkeiten. Es bietet auch eine sichere Umgebung für den Umgang mit empfindlichen Materialien. Das fortschrittliche Gaseinspritzsystem ULVAC EX-650-C16 ermöglicht eine präzise volumetrische Steuerung und Einführung von Chemikalien in den Reaktorinnendruckraum. Diese Einheit ermöglicht die genaue Optimierung des Ätzens exotischerer Materialien oder Schichtsubstrate. Schließlich nutzt die Plasmakammer nach der Behandlung zwei 25-Zoll-UV-Lampen mit bis zu 6 Torr Druck und ermöglicht eine hochpräzise Nachbearbeitung. Alle diese Funktionen von EX-650-C16 Team bis zu einer RIE-Maschine zu erstellen, die eines der konsistent genaue und präzise Ätzprofile eines Reaktors derzeit in der Branche zur Verfügung stellt.