Gebraucht ULVAC VEP-1000 #9313810 zu verkaufen

ULVAC VEP-1000 ist ein Reaktor mit vertikaler Elektronenzyklotronresonanz (ECR), der für Hochdurchsatz-Prozesse der chemischen Dampfabscheidung (CVD) ausgelegt ist. Mit dem ECR-Reaktor wird ein Plasma erzeugt, das dann zur Quelle von Radikalen wird, die für CVD-Prozesse benötigt werden. VEP-1000 eignet sich am besten für Anwendungen wie das Graphenwachstum, wie es bei vielen ECR-Reaktoren der Fall ist. ULVAC VEP-1000 ist mit einer Permanentmagnetausrüstung ausgestattet, die mit NbFeB-Permanentmagneten und Aluminiumspulengehäusen entwickelt wurde. Dieses System begrenzt das Plasma innerhalb des Reaktors magnetisch, was zu einer erhöhten Plasmadichte und einer verbesserten Gleichmäßigkeit führt. VEP-1000 verfügt auch über hochqualitative Mikrowellengenerator- und Stromversorgungssysteme, die einen geräuscharmen, stabilen und sicheren Betrieb ermöglichen. ULVAC VEP-1000 enthält einen 6-Taschen-Vorläufer-Injektor, der die Einführung von bis zu sechs verschiedenen Vorläufern in die Plasmakammer ermöglicht. Zur Regelung der Plasmadichte und Gleichmäßigkeit kann der Injektionswinkel der Vorstufen eingestellt werden. VEP-1000 hat eine maximale Abscheiderate von 10,4 nm/s und einen Prozesstemperaturbereich von 5 bis 850 ° C. ULVAC VEP-1000 verfügt über einen einachsigen kippbaren Substrathalter und eine eingebaute Kühleinheit für erhöhte Prozessstabilität. Die eingebaute Waferkühlmaschine ermöglicht eine effiziente Wärmeübertragung während des Prozesses. Das komplette Tool von VEP-1000 basiert auf einer offenen Architektur, die ein hohes Maß an Konfigurierbarkeit und Kompatibilität mit anderen Controllern, Instrumenten und Anwenderanwendungsmodulen ermöglicht. ULVAC VEP-1000 ist für eine einfache Wartung konzipiert und beinhaltet eine automatisierte Instandhaltung für die regelmäßige Reinigung und Wartung der inneren Teile des Modells. Das robuste Design und die automatisierten Funktionen sorgen für zuverlässige und wiederholbare Prozessergebnisse sowie eine lange Lebensdauer. Die fortschrittliche Automatisierungsfunktion von VEP-1000 reduziert zudem die Einrichtungs- und Wartungszeit drastisch und ist somit die ideale Wahl für viele CVD-Anwendungen.