Gebraucht ULVAC VPC-260 #9296182 zu verkaufen

ULVAC VPC-260 ist ein Niederspannungs-kapazitiver Entladungsreaktor (CD), der üblicherweise als Plasmaquelle verwendet wird. Dieser Reaktortyp ist ideal für Prozesse wie Ätzen, Abscheiden und Oberflächenmodifizierung. VPC-260 ist mit einem digitalen Workcontroller (DWC) ausgestattet, mit dem Benutzer Prozessparameter wie Spannung, Pulsdauer und Kapazitätseinstellungen genau steuern können. Die Kammer des ULVAC VPC-260 ist aus Edelstahl und vernickeltem Kupfer gefertigt. Ein Quarzfenster in der Oberseite des Reaktors ermöglicht es dem Benutzer, die Plasmabedingungen in Echtzeit zu überwachen, während der Temperaturbereich des Reaktors von 30 bis 200 ° C hilft, Überhitzungen bei langen Prozessläufen zu verhindern. VPC-260 ist auch mit einer Luftschleuse zum Einleiten von Sansrogengas in die Kammer ausgestattet. Die Luftschleuse reduziert das Risiko einer Kontamination, da die Prozessgase nie in die Hauptkammer gelangen. ULVAC VPC-260 verwendet einen doppelten Pulsmodus von CD, der hilft, hohe Flussdichten von Ionen und Radikalen aus dem Plasma sowie hohe Leistungen aus niedrigen Eingangsenergien zu erzeugen. Die geringe Eingangsenergie trägt auch dazu bei, den Verschleiß der Elektroden des Reaktors im Vergleich zu anderen Plasmaquellen zu reduzieren. VPC-260 hat sich als kompatibel mit einer Vielzahl von Substraten wie Polysilizium, Glas und Galliumarsenid erwiesen. ULVAC VPC-260 verfügt auch über einen gasfreien Betrieb, was bedeutet, dass keine vorgeschaltete Gasumschlagsanlage erforderlich ist. Dies macht es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Prozessen, vor allem in einem Labor durch seine platzsparende Konstruktion und einfache Bedienung. Insgesamt ist VPC-260 ein zuverlässiger und vielseitiger CD-Reaktor, der eine große Flexibilität für eine Vielzahl von Plasmaanwendungen und -prozessen bietet. Mit seinen hohen Leistungen, niedrigen Eingangsenergien und dem gasfreien Betrieb ist dieser Reaktor in der Lage, den Anforderungen vieler Anwendungen gerecht zu werden.