Gebraucht ULVAC ZX-1000 #9237358 zu verkaufen

ULVAC ZX-1000
Hersteller
ULVAC
Modell
ZX-1000
ID: 9237358
Wafergröße: 8"
PVD System, 8" (5) Chambers Preclean PZT Pt Loadlock.
ULVAC ZX-1000 ist eine hohe Temperatur, niedriges Vakuum, für die flexible und effiziente Operation entworfener Plasmareaktor. Dieser Reaktor ist in der Lage, unter einer Niedervakuumumumgebung bis zu 1000 ° C Temperaturen zu erreichen, was eine ideale Atmosphäre für verschiedene fortgeschrittene Verarbeitungs- und Materialsyntheseaufgaben bietet. Es ist auch so konzipiert, dass es für eine Vielzahl von Prozessanwendungen, Materialien und Prozessen adaptiv ist. ULVAC ZX 1000 ist mit einem radialen Magnetfeld aufgebaut, das senkrecht zur Plasmaquelle steht, das eine Kombination aus einer Elektronenzyklotronresonanzeinrichtung und einer induktiv gekoppelten Entladungsquelle ist. Diese Kombination schafft eine ideale Umgebung mit niedrigem Vakuum und bietet Plasma mit hoher Dichte. Dieser Reaktor wurde auch entwickelt, um thermische Störungen durch geringe emittierte Sekundärelektronen zu minimieren. ZX-1000 ist mit einem ultraschnellen digitalen Stromversorgungssystem ausgestattet. Dieses Gerät ermöglicht eine präzise Leistungsregelung und einen effizienten Betrieb. Zusätzlich ist der Reaktor auf eine niedrige Betriebstemperatur ausgelegt, die Wärmeverluste reduziert und die Wärmebelastung der umgebenden Bauteile minimiert. ZX 1000 hat mehrere Sicherheitsmerkmale, wie seine Temperaturregelmaschine, die überhöhte Temperaturen während des Betriebs verhindert. Es hat auch Notabschaltfähigkeiten und andere Sicherheitsmerkmale wie feuerfeste Verdrahtung und chemisch inerte Dichtungsmittel. Das einzigartige Design von ULVAC ZX-1000 ermöglicht eine breite Palette von Anwendungen wie Härtebehandlung, Dünnschichtabscheidung und Sputtern. Darüber hinaus kann sein Design an jede experimentelle Technik angepasst werden, die aufgrund der richtigen Temperaturregelung, des Plasmas mit hoher Dichte und der präzisen Leistungseinstellungen eine Niedervakuumumgebung erfordert. ULVAC ZX 1000 ist eine ideale Produktionsmaschine zur Herstellung und Wartung von hochwertigen Materialien für eine Vielzahl von Anwendungen.
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