Gebraucht UNAXIS / OERLIKON / ESEC KAI-1 1200 Gen 5 #9195317 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9195317
Weinlese: 2008
PECVD System
Reactor (Industrial glass size):
Version of commercial KAI 1200 machines inside
OERLIKON PV module turn-key production lines
Amorphous and microcrystalline thin silicon film deposition
1.1 m x 1.3 m glass substrates of 2-4 mm thickness
(2) Reactors: aSi, µcSi layer deposition
Load lock
Glass loading table (Extractable to deliver glass into load lock)
Process unit with (2) PECVD reactors
Equipped with ADVANCED ENERGY Cesar 4 kW 40.68 MHz RF Generator
(15) Mass flow controllers
IDEM MFCs
Max temp: 200°C
EBARA Dry pumps
Front loader system
Films deposited:
aSi/µcSi tandem thin film silicon solar cells
With (Containing intrinsic aSi and µcSi films and their carbon-containing /p- and n-doped declinations)
Self cleaning process with NF3 (No residues in both reactors)
Gas supply and pump connected
Spare parts included
2008 vintage.
UNAXIS/OERLIKON/ESEC KAI-1 1200 Gen 5 Reaktor ist ein hochleistungsfähiges fortschrittliches Technologie-Ätzwerkzeug, das eine verbesserte Leistung in einer Vielzahl von Produktionsanwendungen bietet. Das Werkzeug ist ein einteiliges Design und verfügt über eine leistungsstarke variable Leistung, erweiterte Gleichmäßigkeit und Flusslieferungssteuerung. Sein hochauflösender HF-Generator ist in der Lage, mit einer Vielzahl von Frequenzen zu arbeiten, so dass der Benutzer Prozessbedingungen für eine Vielzahl von Ätzanwendungen programmieren kann. Es verfügt auch über eine integrierte Spule und Lasteinstellfunktion, um eine zusätzliche Steuerung bereitzustellen. Der Reaktor ist für die Herstellung einer Vielzahl von elektronischen Geräteanwendungen konzipiert und entwickelt, einschließlich Transistor-Gate-Ätzungen, Fin-Ätzungen und CPW-Ätzungen. Es verfügt auch über eine anspruchsvolle Last und Spule-Anpassung, um die Prozessleistung zu optimieren. Darüber hinaus ermöglicht das Tool dem Benutzer, Rezepte direkt von einer CD, einem Memory Stick oder über das Touchscreen-Display des Geräts einzugeben. ESEC KAI-1 1200 Gen 5 Reaktor kommt mit erweiterten Vakuum-Management-Funktionen ausgestattet. Es hat eine umschlossene zylindrische Spiralgeometrie, um eine stabile Atmosphäre für Ätzprozesse zu schaffen. Dadurch kann der Anwender auch bei Druckbeaufschlagung weiterhin mit konsistenten Ergebnissen auf verschiedenen Prozessebenen ätzen. Das integrierte Flüssigkeitseinspritzsystem und der HF-Generator des Werkzeugs bieten eine größere Kontrolle über die Ätzprozessleistung. Der Anwender ist in der Lage, die Ätzchemie sowie die Flussmengen einzustellen, um höhere Ausbeuten bei höherer Gleichmäßigkeit zu erzielen. Dies ermöglicht schnellere und effizientere Ätzproduktionsprozesse. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einem einzigartigen wassergekühlten System konzipiert, um dem Benutzer eine erhöhte Effizienz zu bieten. Schließlich ist UNAXIS KAI-1 1200 Gen 5 Reaktor unter Berücksichtigung der Sicherheit und Energieeffizienz konzipiert. Es ist mit einem automatischen Absperrsystem sowie einem antistatischen Körper ausgestattet. Darüber hinaus ermöglicht die Statusberichterstattung des Tools dem Benutzer die Überwachung und Bewertung der Gesamtleistung und Leistungsaufnahme des Geräts.
Es liegen noch keine Bewertungen vor